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极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响被引量：2: 2010年; 基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子,Ar+,Ar*和Ar2+密度随极板电压及间距变化的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变。; 庄娟王德真刘莉莹; 关键词：大气压射频氩等离子体放电参数 ATMOSPHERIC 激发态

大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征被引量：1: 2011年; 在大气压条件下Ar气流中实现了容性射频放电α和γ两种模式及其转变与共存.由于放电处于开放大气环境中,放电发射光谱中清晰地存在N2C3Πu→Β3Πg跃迁产生的第二正带和OH自由基Α2Σ→Χ2Π跃迁的(0,0)带光谱.为了获得放电区域的宏观温度,针对氮的第二正带(0,1),(1,2)两个谱带,自编了拟合程序,用温度拟合方法获得了氮分子的转动温度和振动温度,研究了转动温度随放电功率的变化趋势,得到了温度突变与放电模式转变的相关性.利用Lifbase的发射光谱模拟功能,进行了OH自由基Α2Σ→Χ2Π(0,0)带光谱的模拟,通过与实验光谱对比,得到了与N2光谱拟合结果相符的OH转动温度,以及相似的随放电功率的变化趋势,这说明放电空间内的中性物种达到了热平衡状态.根据放电伏安特性变化,放电模式转变对应的转动温度变化趋势得到确认,并且与放电形态的照片符合.; 郭卿超张家良刘莉莹王德真; 关键词：放电模式转动温度

大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断被引量：3: 2010年; 本文采用发射光谱法诊断了大气压下Ar气、SiCl4及H2气混合气体(Ar/SiCl4/H2)射频放电等离子体射流特性.利用Si原子谱线强度计算了电子激发温度并以此估算了Si原子数密度,研究了射频功率及气体流量对电子激发温度和Si原子数密度以及SiCl4解离率的作用.; 刘莉莹张家良郭卿超王德真; 关键词：发射光谱电子激发温度

大气压放电冷等离子体射流数值模拟研究: <正>大气压放电冷等离子体射流是一种新的大气压低温等离子体产生方式。由于具有无需真空装置,操作简单,低成本,活性粒子密度高等特点,在传统的材料改性和精细加工等应用领域,特别是在新兴起的等离子体生物医学等领域,冷等离子体射...; 王德真刘富成晏雯; 文献传递

Two-dimensional numerical study of an atmospheric pressure helium plasma jet with dual-power electrode被引量：5: 2015年; In this paper, the characteristics of an atmospheric pressure helium plasma jet generated by a dual-power electrode （DPE） configuration are investigated by using a two-dimensional fluid model. The effect of a needle electrode on the discharge is studied by comparing the results of the DPE configuration with those of the single ring electrode configuration. It is found that the existence of the needle leads to the generation of a helium plasma jet with a higher propagation velocity, higher species density, and larger discharge width. Furthermore, the influences of the needle radius and needle-to-ring discharge gap on the generation of a plasma jet are also studied. The simulation results indicate that the needle electrode has an evident influence on the plasma jet characteristics.; 晏雯刘福成桑超峰王德真

大气压等离子体射流与阴极相互作用二维数值模拟研究: <正>引言大气压冷等离子体射流作为一种新的大气压低温等离子体发生装置受到了国际上等离子体研究领域的各种关注。由于具有无需真空装置,操作简单,低成本;无废气,无污染;活性粒子密度高等优点,因此无论是在传统的材料制造、加工和...; 晏雯刘富成王德真; 文献传递

甚高频放电加速纳米硅薄膜沉积速度的机理研究: 2009年; 建立一维自洽流体模型,对低压甚高频等离子体放电中产生的主要粒子建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了甚高频对纳米粒子的种子离子SiH3-及电子和正离子SiH3+的影响,给出了种子离子、电子以及正离子密度随频率变化的时空演化过程。结果表明改变频率可以改变SiH3-的密度,从而控制粒子的成核及生长。同时甚高频放电也改变了等离子体中电子和正离子密度以及电场的强度,从而加快等离子体中的化学反应速度和纳米粒子的沉积速度。; 庄娟王德真高欣欣王艳辉; 关键词：硅烷纳米硅

大气压等离子体射流与阴极相互作用二维数值模拟研究: 引言大气压冷等离子体射流作为一种新的大气压低温等离子体发生装置受到了国际上等离子体研究领域的各种关注。由于具有无需真空装置,操作简单,低成本;无废气,无污染;活性粒子密度高等优点,因此无论是在传统的材料制造、加工和改性等...; 晏雯刘富成王德真

大气压下石英毛细管内氩等离子体放电的发射光谱诊断: 2010年; 在长度为20cm的石英毛细管内利用两个边缘锋利的中空的针型电极之间的氩气放电产生了高电子密度的大气压等离子体。利用发射光谱对所获得的等离子体的几个重要参数进行了诊断。利用计算机谱线拟合法合成了300nm附近OH(A-X)的(0-0)转动谱带并通过与测量谱线的比较确定了等离子体的气体温度,根据Hβ谱线Stark展宽法计算了等离子体的电子密度,采用玻尔兹曼曲线斜率法依据测得的有关氩的发射光谱估算了等离子体的电子温度。研究结果表明,这种石英毛细管内弧光放电等离子体的气体温度约为(1100±50)K;电子密度数量级在1014cm-3;电子温度约为(14515±500)K。; 黄文同李寿哲郭卿超张家良王德真马腾才; 关键词：转动温度电子密度电子温度

大气压放电冷等离子体射流数值模拟研究: 大气压放电冷等离子体射流是一种新的大气压低温等离子体产生方式。由于具有无需真空装置,操作简单,低成本,活性粒子密度高等特点,在传统的材料改性和精细加工等应用领域,特别是在新兴起的等离子体生物医学等领域,冷等离子体射流都表...; 王德真刘富成晏雯

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