国家教育部博士点基金(2000033516)
- 作品数：4 被引量：17H指数：2
- 相关作者：章海军张冬仙施洋王新杰黄峰更多>>
- 相关机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 多孔氧化铝薄膜的纳米结构和光谱特性研究被引量：2
- 2006年
- 利用阳极氧化的方法制备出几种表面结构和尺度不同的多孔氧化铝薄膜,用原子力显微镜扫描获得了这些薄膜表面的纳米结构图像,并采用光谱仪测定了它们的反射光谱。实验表明,平均孔径为26和39nm的多孔氧化铝薄膜表面具有独特的反射光谱,在500至1000nm波长范围内呈周期性地密集峰—谷分布,峰—谷的密集度或数量取决于薄膜表面纳米结构的尺度。讨论了纳米结构尺度与反射光谱之间的相互关系,并给出了适当的解释。
- 张冬仙章海军林晓峰何玉琳
- 关键词：多孔氧化铝原子力显微镜反射光谱
- 新型大扫描范围原子力显微镜的研究被引量：9
- 2004年
- 研制了一种大扫描范围原子力显微镜(AFM)。设计了新的扫描驱动电路,使单幅图像的扫描范围大幅度提高;用步进电机和扫描器配合扫描,得到序列图像,序列图像拼接后获得大范围样品图像。实验结果表明,采用这一方法,在±150V 的电压驱动下,AFM 的扫描范围可增大到10 ìm?1 mm 的量级,同时保持 1 nm 量级的测试分辨力。
- 施洋章海军
- 关键词：原子力显微镜控制系统
- 光电反馈式静电悬浮的光电控制系统被引量：7
- 2002年
- 本文给出了基于直流高压静电场的光电反馈式静电悬浮系统的实现方案 ,介绍其工作原理 ,主要讨论该悬浮操作的技术核心 -光电控制系统 ,提出了光电控制系统中的单元技术 :激光三角法测距和比例积分差动 ( PID)控制的实现方案 .我们采用仅有一路伺服控制的光电控制系统进行实验 ,获得了绞好的结果 .实现了悬浮体的开关式悬浮控制 .
- 王新杰章海军黄峰
- 关键词：直流高压光电反馈激光三角法
- 基于液相AFM及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究
- 2008年
- 介绍了多孔氧化铝薄膜(PA)厚度在线测量系统的工作原理、系统结构及独特性能。在白光(宽光谱)照射下,薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉,产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱。同时,利用液相原子力显微镜(AFM)实时获得的PA膜的表面形貌信息,根据膜系统的Maxwell-Garnette有效介电常数理论,经相干势近似计算得到薄膜的有效折射率,进而得到此时PA膜的物理厚度。使用该系统对PA膜氧化制备过程进行了在线扫描和膜厚测量试验,成功的获得了PA样品的实时表面形貌图像,得到样品的孔隙率和有效折射率。并根据样品反射光谱,利用反射干涉频谱法计算得到氧化150和180min时,PA膜厚分别为5.35和6.25μm。本系统具有测量简便、实时性好、无损及测量精确的特点,在实时测量和监控膜厚的同时可获得样品的表面形貌、孔隙率、有效折射率等信息。
- 刘超张冬仙章海军
- 关键词：多孔氧化铝空隙率
