您的位置: 专家智库 > >

河北省教育厅科研基金(2002204)

作品数:2 被引量:16H指数:1
相关作者:张瑞军田占军岳学庆更多>>
相关机构:燕山大学更多>>
发文基金:河北省教育厅科研基金博士科研启动基金更多>>
相关领域:金属学及工艺机械工程理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇氮含量
  • 2篇力学性能
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米力学性能
  • 2篇力学性
  • 1篇碳氮薄膜
  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇掺氮类金刚石...

机构

  • 2篇燕山大学

作者

  • 2篇张瑞军
  • 1篇岳学庆
  • 1篇田占军

传媒

  • 1篇摩擦学学报(...
  • 1篇中国材料科技...

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
退火温度对碳氮薄膜的纳米力学和纳米摩擦性能的影响
2006年
采用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了氮含量不同的碳氮薄膜,采用真空退火技术对碳氮薄膜进行了退火处理,并且利用Laser Raman谱仪和Hysitron纳米力学测试系统对碳氮薄膜的结构、纳米力学以及纳米摩擦特性进行了研究。结果表明:随着退火温度的升高,碳氮薄膜中的sp^2含量降低,sp^2含量增加,而薄膜的纳米力学性能如纳米硬度和弹性模量则随之明显下降。在栽荷相同的条件下,不同氮含量的沉积态碳氮薄膜均表现出基本相同的摩擦系数值。但退火处理会显著改变碳氮薄膜的摩擦系数,氮含量相同时,退火温度越高,摩擦系数越大。但是,摩擦系数随退火温度增大的程度与薄膜中氮含量有关。
张瑞军田占军岳学庆
关键词:碳氮薄膜氮含量退火纳米力学性能
掺氮类金刚石薄膜的纳米力学及纳米摩擦特性研究被引量:16
2005年
利用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了不同氮掺杂量的类金刚石(DLC)薄膜,采用俄歇电子能谱仪、R am an光谱仪和Hys itron型纳米力学测试系统对掺氮类金刚石薄膜的化学成分和结构、纳米力学及其纳米摩擦特性进行研究.结果表明:反应气体中氮气流量比例越大,类金刚石薄膜中的氮含量越高;随着薄膜中氮含量增加,掺氮类金刚石薄膜中sp3比例下降,sp2比例明显增加,而薄膜的纳米力学性能如纳米硬度和弹性模量明显下降;纳米划擦试验中的划痕深度与薄膜中氮含量有关,当载荷相同时,氮含量越高,所对应的划痕深度越深;名义摩擦系数(LF/NF)随着载荷增加而增大;当载荷相同时,摩擦系数与沉积膜中的氮含量无关.
张瑞军马洪涛
关键词:类金刚石薄膜氮含量纳米力学性能
共1页<1>
聚类工具0