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国家自然科学基金(10374360)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
俞琳
戴瑛
刘东红
闫翠霞
龙闰
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相关机构:
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俞琳
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半导体技术
年份
1篇
2006
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p型金刚石欧姆接触的研究
被引量:2
2006年
金刚石的欧姆接触是制造半导体器件的关键技术之一。简要综述了近年来p型金刚石制备欧姆接触的研究进展,结合器件的发展和实际工艺的要求,讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法,指出目前存在急需解决的一些问题。
龙闰
戴瑛
刘东红
俞琳
闫翠霞
关键词:
欧姆接触
金属
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