国家高技术研究发展计划(2003AA404012)
- 作品数：4 被引量：17H指数：2
- 相关作者：金仲和王跃林马慧莲陈懿焦纪伟更多>>
- 相关机构：浙江大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一、二阶释放模型在表面微机械中的应用
- 2004年
- 随着硅表面微机械技术的发展,使得许多微机械器件的制作成为可能。通过对一、二阶释放腐蚀模型进行深入研究,详细分析了一、二阶混合释放腐蚀模型在微机械中几种基本牺牲层腐蚀结构中的应用,并对分析结果进行仿真计算和分析。
- 徐宁宁马慧莲金仲和丁纯
- 一、二阶释放模型在表面微机械中的应用
- 随着硅表面微机械技术的发展,使得许多微机械器件的制作成为可能。通过对一、二阶释放腐蚀模型进行深入研究,详细分析了一、二阶混合释放腐蚀模型在微机械中几种基本牺牲层腐蚀结构中的应用,并对分析结果进行仿真计算和分析。
- 徐宁宁马慧莲金仲和丁纯
- 文献传递
- Bubble结构牺牲层腐蚀的一种改进模型被引量：2
- 2006年
- 以往的牺牲层腐蚀模型把扩散系数看作是常数,然而,实验结果和以往模型的计算结果在腐蚀开始一段较短的时间内吻合较好,但随着腐蚀时间的变长两者的差异越来越明显.为了解释这一现象并使模型能够较好地预测腐蚀过程,提出了腐蚀模型应该考虑氢氟酸扩散系数是浓度的函数,并在此基础上得到了改进模型.在改进模型中,浓度的下降会引起扩散系数的增大,这部分补偿了腐蚀前端浓度的下降.另外在改进模型中,扩散系数还是温度的函数.实验表明,改进模型与实验结果吻合地较好.这些结果不仅为对牺牲层腐蚀机理的理解提供新的证据,而且也为溶液在bubble结构里面的扩散提供新的证据.文中所观察到的这些现象也适合于其他类型的牺牲层腐蚀,条件是其腐蚀过程是受扩散限制的.
- 吴昌聚马慧莲金仲和王跃林
- 关键词：MEMS牺牲层腐蚀
- 组合结构的牺牲层释放腐蚀修正模型被引量：1
- 2006年
- Eaton等人曾给出了HF溶液腐蚀Si O2牺牲层的释放腐蚀模型,然而实验中发现该模型并不能较好地符合实验数据。经分析发现该模型中扩散系数和反应速率常数不能如实反映温度的变化,而且实验中观察到腐蚀前端形状并不总是平面。通过对模型中这些因素的修正,建立起修正模型。
- 林守锋郁发新马慧莲王跃林金仲和
- 关键词：牺牲层
- 微机械振动式陀螺接口电路设计与实现被引量：15
- 2005年
- 介绍了一种电磁驱动电容检测的微机械振动式陀螺的接口电路,电路由自激驱动电路和信号检测处理电路组成。自激驱动部分利用陀螺自身的谐振特性配合反馈电路产生自激振荡,同时为检测部分提供了稳定的同步信号;检测部分利用该同步信号和陀螺的输出信号进行同步解调,得到角速度信号。最后对该电路的性能和测试结果进行了分析。
- 陈懿金仲和王慧泉焦纪伟王跃林
- 关键词：同步解调自动增益控制
