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国家重点基础研究发展计划(G2005CB7243002)

作品数：1 被引量：9H指数：1
相关作者：侯安州倪鹤南任秋实惠春吴义伯更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微加工
  • 1篇微加工工艺
  • 1篇聚对二甲苯
  • 1篇PARYLE...

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇徐爱兰
  • 1篇吴义伯
  • 1篇惠春
  • 1篇任秋实
  • 1篇倪鹤南
  • 1篇侯安州

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究被引量：9
2007年
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。
吴义伯侯安州倪鹤南徐爱兰惠春任秋实
关键词：聚对二甲苯微加工工艺
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