国家自然科学基金(50275138)
- 作品数：8 被引量：70H指数：6
- 相关作者：陈本永李达成吴晓维周砚江韦丰更多>>
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- 双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
- 本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪,针对该干涉仪的光路结构特点,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测;实验测量结果表明...
- 陈本永周砚江孙政荣吴晓维李达成
- 关键词：双频激光合成波长相位检测
- 文献传递
- 大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势被引量：8
- 2005年
- 介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数。
- 韦丰陈本永丁启全
- 关键词：光学干涉仪扫描探针显微镜合成波长
- 激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析被引量：13
- 2008年
- 描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量。进行了激光合成波长纳米测量干涉仪和激光外差干涉仪的对比实验,结果表明激光合成波长纳米测量干涉仪的最大误差为2.1nm,优于激光外差干涉仪的最大误差7.5nm,验证了激光合成波长纳米测量干涉仪的优越性。
- 陈本永穆瑞珍周砚江李达成
- 关键词：干涉仪合成波长
- 磁悬浮式纳米级微动工作台的理论分析与建模研究被引量：9
- 2006年
- 磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动。本文构建了一种新型的磁悬浮微动工作台,从理论上对磁悬浮式微动工作台的运动机理进行了详尽分析,建立了磁悬浮式微运动的电磁驱动模型,用Matlab对磁悬浮式微动工作台的运动控制进行了仿真研究,结果表明,设计的磁悬浮式微动工作台能达到纳米级的微运动。本文的研究成果为磁悬浮式微动工作台的设计及其控制提供了理论基础。
- 陈本永雷勇李延宝张丽琼王俊茹冯平
- 关键词：磁悬浮微动工作台
- 一种新型的干涉条纹软件计数方法及其实现研究被引量：11
- 2004年
- 一般的光学干涉条纹计数方法都是对两路相位差为π/ 2的干涉条纹信号进行整形计数 ,此种方法简便易行 ,但是当条纹信号在半个周期内发生振荡变化时 ,容易出现对信号的变化方向产生判别错误 ,从而导致最后的计数结果出现误差。针对此种缺陷 ,本文提出了一种新型的光学干涉条纹软件计数方法 :在信号过零点附近设置一对正、负阈值 ,当正弦信号上跳过正阈值或下跳过负阈值时 ,根据此时对应的余弦信号是正还是负来判断此时被测物体的正、反向运动和进行加、减计数 ;而当正弦信号下跳过正阈值或上跳过负阈值时 ,根据判断此时正弦信号的运动方向与前次正弦信号跳过阈值时是否相同来进行加减计数。该计数方法能对干涉条纹信号的振荡变化进行准确判向 ,因此能提高计数的可靠性 ,而且具有智能性 ,适应性强。
- 陈本永吴晓维李达成
- 关键词：干涉条纹计数阈值
- 双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究被引量：2
- 2003年
- 本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪 ;针对该干涉仪的光路结构特点 ,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法 ,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测 ;实验测量结果表明该定位方法能够实现 0 .4
- 陈本永周砚江孙政荣吴晓维李达成
- 关键词：双频激光合成波长相位检测
- 激光干涉测量中条纹计数的CPLD设计及实现被引量：2
- 2005年
- 使用CPLD设计并实现了采用干涉条纹进行测量的光学测量系统中的计数电路部分,取代了传统的多元件分立的电路设计,达到了很好的效果,满足了光学干涉测量准确快速测量的要求。此分析适用于一般条纹计数系统。
- 韦丰陈本永杨将新
- 关键词：CPLDVHDL动镜
- 精密直线位移工作台单神经元自适应PID控制方法研究被引量：6
- 2004年
- 设计并实现了一套直线位移工作台的精密运动控制系统 ,建立了直线位移工作台系统各组成部分的数学模型 ;在分析研究常规PID控制的基础上 ,针对精密直线位移工作台对定位、响应速度、运动方向等方面的高精度要求 ,提出了一种适合于高精度直线位移工作台的单神经元自适应PID控制策略 ,实现了对直线位移工作台的精密运动控制 ;经实验表明该精密直线位移工作台单神经元自适应PID控制具有良好的动态性能、自适应能力和较强的鲁棒性。
- 陈本永吴晓维张建新
- 关键词：工作台单神经元PID自适应控制
- 纳米测量技术的挑战与机遇被引量：27
- 2005年
- 纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一。纳米科学技术的快速发展,不但给纳米测量技术提出了挑战,同时也给纳米测量技术提供了全新发展的机遇。综述了国内外纳米测量技术发展的现状,重点讨论了纳米材料、纳米电子学和纳米生物学等领域所涉及的纳米测量与性能表征的难题和挑战,论述了纳米科技成果给纳米测量技术带来的发展机遇,最后对纳米测量技术的发展方向做了展望。
- 陈本永李达成
- 关键词：纳米测量技术纳米生物学纳米电子学基础学科纳米材料性能表征
