国家自然科学基金(10476025)
- 作品数：3 被引量：13H指数：2
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- 相关机构：浙江大学成都精密光学工程研究中心更多>>
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- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 减少光学元件亚表面缺陷的方法研究被引量：4
- 2009年
- 针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和Marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高准确度加工.通过实验对亚表面缺陷的分布位置和特性进行了分析,实验验证了在静止和移动条件下Marangoni界面效应的存在.对材料的定量去除进行了实验,提出了亚表面缺陷的去除方法.
- 项震赵亚洲侯晶葛剑虹
- 关键词：抛光
- 基于Marangoni效应的光学元件化学抛光工艺研究
- 2007年
- 介绍了Marangoni界面效应及化学抛光反应机理,进行了数控抛光刻蚀实验研究,包括刻蚀稳定性实验、刻蚀量与刻蚀头速率的关系以及初步的面形修复加工。通过对实验结果进行分析,得到稳定可控刻蚀抛光的上限刻蚀速率和刻蚀效率与刻蚀头走速的函数关系。
- 项震聂传继侯晶
- 光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除被引量：9
- 2007年
- 针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和Marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高精度加工,对亚表面缺陷具有很好的克服和消除作用。通过实验对亚表面缺陷的分布位置和特性进行了分析,同时实验验证了在静止和移动条件下Marangoni界面效应的存在,对材料的定量去除进行了实验,提出了亚表面缺陷的去除方法。
- 项震聂传继葛剑虹侯晶许乔
- 关键词：抛光
