国家科技重大专项(2008ZX01035-001-06)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：叶翼史峥朱椒娇罗旭杨帆更多>>
- 相关机构：浙江大学复旦大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家教育部博士点基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 晶圆切割和随机缺陷驱动的掩模设计方法被引量：2
- 2014年
- 针对现有掩模设计方法的不足,提出了同时考虑晶圆切割和随机缺陷的掩模设计方法.在预估边到边晶圆切割引起的成品率丢失的同时,将随机缺陷引起的成品率丢失也纳入了设计参考量.对掩模上芯片进行布局规划的阶段,使那些由于随机缺陷造成成品率丢失较高的芯片在布局规划的目标函数中拥有较大的权重.这些芯片会在模拟退火算法迭代的过程中被自动放置在相应的与其他芯片较少切割冲突的位置,避免了后期晶圆切割对其产量造成的损失.此方法均衡了芯片之间的产量,在满足各个芯片需要产量的前提下,减少了生产所需的晶圆数量.与最小化掩模面积的设计方法和只考虑晶圆切割的设计方法比较,该方法使生产所需要的晶圆数量分别减少了15.22%和7.14%.
- 叶翼朱椒娇史峥
- 关键词：集成电路制造计算机辅助设计模拟退火成品率模型
- 嵌套式稀疏网格随机配置法及其在随机门延时建模中的应用被引量：1
- 2010年
- 为了提高随机工艺偏差下门延时建模的计算精度和效率,提出一种基于扩展Gauss积分理论及嵌套式稀疏网格技术的随机配置门延时建模方法.首先采用参数空间中具有指数收敛特性的随机正交多项式对随机门延时进行逼近;然后针对现有的基于传统Gauss积分理论的稀疏网格随机配置法所用的配置点不具有嵌套特性的问题,利用单变量扩展Gauss积分理论及稀疏网格技术构造了一组嵌套式多变量Gauss积分点,将其作为随机门延时建模的配置点.这组配置点既具有Gauss积分点的高精度,又满足嵌套性质,且在低阶积分配置点上已经得到的门延时可以在高阶积分时重复使用.与现有的基于非嵌套式配置点的随机配置法相比,该方法的计算精度和效率可以得到很大的提升,数值实验结果也验证了该方法在计算精度和效率上的优势.
- 罗旭杨帆朱恒亮陶俊蔡伟周电曾璇
