国家科技重大专项(2011ZX02501-005)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
- 相关作者：李友江志斌贾文友李娜姚世清更多>>
- 相关机构：上海交通大学安徽工程大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用被引量：6
- 2013年
- 针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期.
- 李程江志斌李友李娜耿娜姚世清贾文友
- 关键词：半导体晶圆制造系统批处理调度
- 面向产品族优化时间窗下可重入批处理机调度被引量：6
- 2015年
- 在半导体晶圆制造系统中,具有不确定交货时间窗和不相容产品族的可重入批处理机优化调度是NP-难问题。针对该问题,提出面向产品族的三层滚动混合整数线性规划模型的优化调度算法,其优化目标是提前和误工的时间总和最小。该算法是基于时间序列模型和事件模型的混合分解策略,在可重入批处理机空闲、可用的事件触发下,将整个调度时间轴分解为滚动的时间域;每个时间域对应一个子问题;每个子问题分解为三层:排序、派工和更新;半导体晶圆制造系统实时调度仿真平台用于派工、更新和时域滚动,混合整数线性规划模型用于排序。通过6种典型情形实例验证,结果表明面向产品族的三层滚动混合整数线性规划模型能够在较短计算时间内获得较好优化解。
- 贾文友江志斌李友
- 关键词：面向产品族
- 基于有效工作负荷的晶圆制造系统投料与空闲派工策略研究
- 晶圆制造系统因其复杂多重入的工艺流程、机台加工方式的多样性、多产品混线生产等特征而被公认为最复杂的制造系统之一。为了缩短制程周期、降低在制品水平及提高准时交货率,其生产管理控制技术至关重要。先进的生产管理技术通过投料策略...
- 李友
- 关键词：投料
- 文献传递
