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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(MCET-07-0122)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
孙俘
赵英杰
钟景昌
侯立峰
郝永芹
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相关机构:
长春理工大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
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作者
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冯源
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郝永芹
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侯立峰
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钟景昌
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赵英杰
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孙俘
传媒
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兵工学报
年份
1篇
2010
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808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究
被引量:2
2010年
为提高808 nm垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的输出功率与电光转换效率,对其湿法氧化工艺进行了实验研究。采用扫描电镜(SEM)的微区分析功能,对样品氧化层按不同的氧化深度进行微区分析。微区分析结果表明:适当降低氧化温度,延长氧化时间,可减小氧化限制孔径的控制误差,提高氧化工艺的准确性;氧化后对样品进行高温加热处理,可减少氧化层中的As含量,改善氧化层的质量,提高氧化工艺的热稳定性。
侯立峰
钟景昌
孙俘
赵英杰
郝永芹
冯源
关键词:
半导体技术
垂直腔面发射激光器
湿法氧化
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