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国家自然科学基金(51172204)

作品数:5 被引量:13H指数:3
相关作者:叶志镇吕建国陈凌翔陈丹黄靖云更多>>
相关机构:浙江大学金日成综合大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金浙江省科技厅项目浙江省科技厅资助项目更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信理学更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇ZNO
  • 2篇GA
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇电导
  • 1篇电导性
  • 1篇电学性能
  • 1篇性能研究
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇双电层
  • 1篇透明电极
  • 1篇退火
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇膜厚
  • 1篇溅射功率
  • 1篇功率
  • 1篇光电导性

机构

  • 4篇浙江大学
  • 1篇金日成综合大...

作者

  • 4篇叶志镇
  • 3篇吕建国
  • 2篇陈凌翔
  • 1篇李霞
  • 1篇江庆军
  • 1篇黄靖云
  • 1篇叶春丽
  • 1篇陈丹
  • 1篇薛雅

传媒

  • 3篇材料科学与工...
  • 1篇Journa...
  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO∶Ga薄膜应力的影响被引量:5
2016年
在室温(RT)下,采用直流(DC)磁控溅射在聚碳酸酯(PC)衬底上制备Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)与基片曲率方法研究薄膜的残余应力。提出并讨论了厚度和溅射功率对GZO薄膜的应力影响并证实所有薄膜的应力均是压缩应力。研究表明随着薄膜厚度的增加,外应力可以得到充分释放。而溅射功率的变化可以改变GZO薄膜的应力和晶粒尺寸。研究表明溅射功率在140W的条件下制备的厚度225nm薄膜具有最大的晶粒尺寸和最小的压缩应力。结果表明改变溅射参数,比如溅射功率和薄膜厚度,GZO薄膜能够有效地释放应力。
张哲浩吕建国江庆军叶志镇
关键词:直流磁控溅射
Highly transparent low resistance Ga doped ZnO/Cu grid double layers prepared at room temperature被引量:1
2015年
Ga doped ZnO(GZO)/Cu grid double layer structures were prepared at room temperature(RT).We have studied the electrical and optical characteristics of the GZO/Cu grid double layer as a function of the Cu grid spacing distance.The optical transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer are higher than that of the GZO/Cu film double layer regardless of the Cu grid spacing distance and increase as the Cu grid spacing distance increases.The calculated values for the transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer well follow the trend of the experimentally observed transmittance and sheet resistance ones.For the GZO/Cu grid double layer with a Cu grid spacing distance of 1 mm,the highest figure of merit(φ_(TC)=6.19×10^(-3)Ω^(-1))was obtained.In this case,the transmittance,resistivity and filling factor(FF) of the GZO/Cu grid double layer are83.74%,1.10×10^(-4)Ω·cm and 0.173,respectively.
Cholho Jang叶志镇吕建国
关键词:双电层高透明
功率和退火对磁控溅射生长ZnO∶Ga薄膜的影响被引量:3
2014年
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Ga透明导电薄膜(GZO)。通过X射线衍射(XRD)、四探针电导率测试、紫外可见分光光度等表征方法研究了溅射功率对薄膜结晶特性及光电性能的影响。结果表明:当溅射功率180W时制备的GZO薄膜光电性能最优,方块电阻为9.8Ω/sq,电阻率为8.6×10-4Ω·cm,霍尔迁移率为12.5cm2/V·s,载流子浓度为5.8×1020cm-3,可见光透过率超过92%。另外,研究了最优制备条件下的GZO薄膜的高温稳定性,在氩气、氧气和真空气氛下分别对薄膜进行退火处理。结果表明,氩气退火的薄膜电学性能显著提高,是显著改善GZO薄膜性能的有效方法之一;氧气退火不利于薄膜的导电性;真空退火介于两者之间。
李霞陈凌翔吕建国叶志镇
关键词:磁控溅射电学性能功率退火
AZO薄膜用于GaN基LED透明电极的性能研究被引量:5
2013年
采用脉冲激光沉积法制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同沉积氧压下薄膜的光电性能。当沉积压强为0.1 Pa时,AZO薄膜光电性能最优。将该薄膜用于GaN基LED透明电极作为电流扩展层,在20 mA正向电流下观察到了520 nm处很强的芯片发光峰,但芯片工作电压较高,约为10 V,芯片亮度随正向电流的增大而增强。二次离子质谱测试表明,AZO薄膜与GaN层界面处两种材料导电性能的变化以及钝化层的形成是导致芯片工作电压偏高的原因。
陈丹吕建国黄靖云金豫浙张昊翔叶志镇
关键词:AZO薄膜GAN基LED透明电极脉冲激光沉积
p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电导性能
2013年
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英衬底上制备p型Na掺杂ZnMgO薄膜,薄膜在氮气气氛中600℃退火60s,具有较好的光电性能。在室温下分别用波长254nm的紫外光和波长630nm的红色激光对样品进行了光电导性能测试。两种光照下,光电流均瞬间上升,且光响应度与外加偏压具有线性相关性。紫外光照下p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电流变化比红色激光照射下要显著。
薛雅叶志镇陈凌翔叶春丽
共1页<1>
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