福建省自然科学基金(E0610031)
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- 采用Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜及其表征
- 本文介绍用Sol-gel技术制备的PZT薄膜的生长和表征。文中,我们通过分析极化强度来研究退火温度、不同的膜厚和不同衬底对PZT薄膜铁电特性的影响。PZT薄膜的电滞回线用Sawyer Tower回路来测量。实验数据表明P...
- 包达群张翊郭航郭涛
- 关键词：PZT薄膜铁电性
- 文献传递
- 微管道内超声流用于冷却的研究
- 微流体装置中基于声流而产生的对流热传导对于装置内的冷却作用有一定的研究潜景。但对于声场引起微管道内流体的运动并产生冷却效果的理论研究很少。本文首先应用流体动力学的基本理论,建立起声流场的一维解析模型,对声波在管道内部传播...
- 孙宏明刘琦郭航郭涛
- 关键词：声流微管道
- 文献传递
- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
- 一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究
- 微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现MEMS微流体驱动的一种重要方式。本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构。利用ANSYS有限元分析软件,建立了压电微泵有限元模...
- 徐加山郭涛孙宏明郭航
- 关键词：微泵压电驱动有限元分析ANSYS
- 文献传递
