中国博士后科学基金(20090451380)
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
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- 金铬薄膜的飞秒激光烧蚀加工被引量：10
- 2011年
- 着重从实验角度对飞秒激光烧蚀金属薄膜所得直线微槽的形状尺寸与实验加工参数之间的控制规律进行了研究。对使用频率为1 kHz、波长为800 nm、脉宽为30 fs的超短脉冲激光在150 nm厚的金铬薄膜上直线扫描所得微结构进行观察,发现:改变聚焦物镜的数值孔径(NA)、激光功率、扫描速率以及重复扫描次数等实验参数,均会对加工所得微槽宽度造成影响。得到了减小聚焦物镜数值孔径、提高激光功率、降低激光扫描速率、增加扫描次数均能提高直线微槽的宽度的参数控制规律。此外,还对后向激光烧蚀方法进行了实验研究,并与前向刻蚀的实验结果进行比较,验证了前向加工方法在加工质量和加工效率方面均优于后向加工,并分析其原因。
- 杨成娟梅雪松王文君姜歌东王恪典丁明江
- 关键词：飞秒激光
- 飞秒激光掩模版加工中的精度控制方法被引量：6
- 2010年
- 飞秒激光掩模版加工和修复是近几年来微纳加工领域的研究热点之一,其中精度控制是获得高质量掩模版的关键。在飞秒激光脉冲对铬金属膜和石英基底材料破坏特性的理论基础上,利用一套输出脉宽25 fs、最大功率1 W、中心波长800 nm、重复频率1 kHz的飞秒脉冲激光系统,实验研究了掩模特征单元尺寸与激光能量密度、扫描速度的关系,通过参数优化实现了最小特征尺寸为290 nm的掩模版加工;探讨了特征单元的边缘形貌和底部形貌受能量密度与扫描次数的影响规律,提出了加工参数的选取原则,最终实现了飞秒激光掩模版加工的精度控制和优化。
- 王文君姜歌东梅雪松王恪典杨成娟丁明江
- 关键词：飞秒激光掩模版
