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教育部重点实验室开放基金(2005-19)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：张铁群洪伟赵友博更多>>
相关机构：中国航天科工集团公司南开大学天津市道路桥梁管理处更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇金刚石膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇热压
  • 1篇硫化
  • 1篇硫化锌
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇基底
  • 1篇END
  • 1篇HALL

机构

  • 2篇南开大学
  • 2篇中国航天科工...
  • 1篇天津市道路桥...

作者

  • 2篇赵友博
  • 2篇洪伟
  • 2篇张铁群

传媒

  • 1篇光学仪器
  • 1篇光电技术应用

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
采用End-Hall源沉积类金刚石膜被引量：3
2006年
介绍了两种普遍采用的类金刚石(DLC)膜沉积方法。在此基础上叙述了采用End-H all源沉积DLC膜的方法,在简单说明其工作原理的同时给出了实验的各项技术参数;通过对实验结果和DLC膜样品的分析,可看出用End-H all源沉积方式能够消除RFCVD沉积方式所带来的边缘效应。
洪伟赵友博张铁群
关键词：类金刚石膜
热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现被引量：1
2007年
讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法，给出了膜系和实验结果．从测试结果可以看出。ZnS基片、Si膜和DLC膜在7-10μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高，不仅满足了技术指标的要求，而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展．
洪伟赵友博张铁群隋承林
关键词：硫化锌类金刚石膜化学气相沉积热压
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共1页<1>
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