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国家自然科学基金(60086003)

作品数：8 被引量：16H指数：3
相关作者：陈四海易新建孔令彬刘鲁勤何苗更多>>
相关机构：华中科技大学中国地质大学航天总公司更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术机械工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 8篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇衍射
  • 5篇透镜
  • 5篇微透镜
  • 5篇光学
  • 4篇点扩散函数
  • 4篇衍射效率
  • 4篇二元光学
  • 3篇透镜阵列
  • 3篇微透镜阵列
  • 3篇面阵
  • 3篇焦平面
  • 3篇焦平面阵列
  • 3篇红外
  • 3篇红外焦平面
  • 3篇红外焦平面阵...
  • 2篇单片
  • 2篇单片集成
  • 2篇性能研究
  • 2篇光学元件
  • 1篇单片集成技术

机构

  • 8篇华中科技大学
  • 3篇中国地质大学
  • 1篇航天总公司
  • 1篇中国航天

作者

  • 6篇易新建
  • 6篇陈四海
  • 4篇孔令彬
  • 2篇何苗
  • 2篇刘鲁勤
  • 1篇赖建军
  • 1篇王宏臣
  • 1篇潘峰
  • 1篇叶敦范
  • 1篇王英瑞
  • 1篇程祖海
  • 1篇马宏
  • 1篇孔令斌

传媒

  • 2篇华中科技大学...
  • 2篇红外与毫米波...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇光子学报
  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2002
  • 5篇2001
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究(英文)
2001年
提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到 3 861.70 μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过 2 0 0μm的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合 。
何苗易新建程祖海刘鲁勤王英瑞
关键词：GAAS离子束刻蚀响应特性曲率补偿焦距
256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究被引量：3
2001年
基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 .
陈四海易新建王宏臣孔令彬马宏
关键词：微透镜阵列单片集成技术信噪比
二元光学元件──微透镜被引量：7
2001年
介绍了二元光学的产生和发展，着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。
孔令彬易新建陈四海
关键词：二元光学元件微透镜衍射效率点扩散函数蚀刻
多相位256×256衍射微透镜的设计及其光学性能研究被引量：3
2002年
介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法 ,在此基础上运用部分刻蚀法研制出适用于 3～ 5 μm波长多相位 2 5 6× 2 5 6衍射微透镜阵列。利用光通信半导体激光器和探测器建立了一套测试系统 ,并对所设计的多相位衍射微透镜阵列的衍射率和点扩散函数进行了测试 ,8相位和 16相位石英衍射微透镜的衍射率分别高达 80 .2 %和 87.5 % ,完全满足实际应用的要求。
孔令彬叶敦范易新建陈四海
关键词：衍射效率点扩散函数二元光学
菲涅耳微透镜衍射光学性能测试
2007年
基于微透镜阵列的基本光学原理,建立了一套评价微透镜光学质量的微光学测试系统.该系统可以测量微透镜的点扩散函数、衍射效率、焦长等特征性能参数,从而可以有效地对微透镜阵列进行评价.讨论了微透镜的各种参数的基本概念和测量方法,同时分析了测量中的误差影响因素.
潘峰陈四海王明赖建军易新建
关键词：微透镜阵列光学性能
小F数衍射微透镜阵列光学性能研究
2001年
本文基于小光点扫描 ,在国内首次提出了一种测试小 F数衍射微透镜阵列光学性能的方法 .利用光通信用半导体激光器和探测器建立了一套测试系统 ,并对所研制的大阵列 ,小单元尺寸的多相位菲涅耳衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试 .结果表明 ,衍射微透镜实际衍射光斑比理论衍射受限光斑扩展不大 ,8相位和 1 6相位石英微透镜的衍射效率分别高达 80 .2 %和 87.5 % ,说明本实验室对多相位的设计理论和制作工艺已基本掌握 。
陈四海易新建刘鲁勤何苗孔令斌
关键词：衍射效率点扩散函数二元光学红外焦平面阵列
二元光学法在微透镜制作中的应用被引量：2
2002年
对二元光学的产生和发展作了介绍,并阐述了二元光学元件之一的微透镜(microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论;而其制作过程包括:计算机设计波面相位、产生掩模版、光刻或离子(束)蚀刻以及复制产生微透镜,其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE(Reactive Ion Etching)技术;微透镜的测试主要包括衍射效率(diffractive efficiency)和点扩散函数(PSF)的测试,有直接法和间接法两种测试方法。微透镜可以微型化与阵列化,并且可以同微电子器件一起集成化,具有广泛的应用前景。
孔令彬易新建易新建
关键词：二元光学微透镜衍射效率点扩散函数光学元件全息术
硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成被引量：2
2001年
基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵列的灵敏度R和比探测率D 都提高了 1.
陈四海孔令斌何苗易新建
关键词：微透镜阵列红外焦平面阵列单片集成
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