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河南省科技攻关计划(112102310534)
河南省科技攻关计划(112102310534)
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
相关作者:
赵晓艳
甄志强
闫海涛
孟伟东
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相关机构:
河南科技大学
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发文基金:
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闫海涛
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赵晓艳
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2012
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用干涉条纹图像对比法测量微位移
被引量:1
2012年
研究了用迈克尔逊干涉条纹图像对比法测量微位移的实验.用He-Ne激光器、反射镜和分束镜组成干涉光路,一个反射镜固定在被测目标靶上,目标靶带动其中一个反射镜移动,使干涉光路发生变化,从而导致干涉条纹改变.利用线阵CCD采集干涉条纹图像并用对比法处理和计算,获得目标物的微位移.实验结果表明,用图像对比法处理干涉条纹,计算方法可行且准确率高,测量的精准度可以达到微米级.
赵晓艳
闫海涛
甄志强
孟伟东
关键词:
微位移
激光干涉仪
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