国家教育部博士点基金(200802520005)
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
- 相关作者：侯文玫任晓张运波沈丽艳盛世杰更多>>
- 相关机构：上海理工大学上海大学苏州大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 波片和偏振片对外差干涉仪非线性的影响被引量：1
- 2011年
- 为了减小外差干涉仪的非线性误差，必须明确波片和偏振片对非线性误差的影响机理。通过理论分析和试验发现，波片和偏振片位于偏振分光镜之前和之后对非线性的影响是不同的。如果把有误差的波片和偏振片放置在偏振分光镜前面，其误差将100％地引入非线性。如果将相同的这些光学元件安装在于涉仪里面，有可能影响非线性，但通常在高阶误差范围内。
- 任晓侯文玫
- 关键词：计量学外差干涉仪波片偏振片非线性
- 基于数字微镜器件的三维轮廓测量及其性能分析被引量：8
- 2011年
- 研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法。该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜器件及其控制器替代了传统共焦测量中的照明针孔和横向扫描机构,充分发挥DMD横向分辨率高,响应速度快,数字化以及便于计算机控制的优点,对传统共焦测量方法进行了结构上的改进,大大提高其扫描速度。一系列实验结果表明,数字微镜器件可以完全替代照明针孔,从而实现对样品表面快速,精确,大范围的三维测量。
- 许琦欣侯文玫盛世杰张运波沈丽艳
- 关键词：数字微镜器件
- 偏振光器件对外差干涉仪非线性的影响
- 2012年
- 偏振光器件,如波片和偏振片等,当自身有误差或具有安装误差时,会对外差干涉仪的非线性误差产生影响。通过理论分析和试验发现了一个与传统理论不同的重要事实,即当波片和偏振片位于偏振分光镜之前和之后时,它们的误差对非线性的影响不同。如果把有误差的波片和偏振片放置在偏振分光镜前面,其误差将100%引入非线性;如果将相同的这些光学元件安装在干涉仪里面,有可能影响非线性,但通常在高阶误差范围内。
- 任晓侯文玫
- 关键词：非线性外差干涉仪波片偏振片
- 基于FPGA的插频式外差干涉信号处理方法被引量：5
- 2011年
- 为了测得外差干涉仪的相位移,采用插频法对外差干涉仪的参考信号与测量信号进行了处理,从而测得两个信号的相位差即多普勒频移。插频法基于过零检测原理,即在测量信号与参考信号上升沿来临时,分别对两信号插入脉冲,通过对插入的脉冲计数,实现相位差的测量。外差干涉仪光源是拍频为2.2MHz的He-Ne激光,使用迈克尔逊干涉仪测量系统,插入脉冲频率为100MHz,计数及乘除等相关运算用现场可编程门阵列实现,理论分析测量分辨率可以达到(11)/(1000)λ,约为6.9608nm。结果表明,该方法具有很强的实际应用价值。
- 邱小倩乐燕芬王静
- 关键词：外差干涉仪现场可编程门阵列信号处理
