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国家自然科学基金(60776015)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王振华魏鸿源杨少延朱勤生王占国更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化锌
  • 1篇生长温度
  • 1篇甲醇
  • 1篇发光
  • 1篇ZNO
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇杨安丽
  • 1篇刘祥林
  • 1篇焦春美
  • 1篇王占国
  • 1篇朱勤生
  • 1篇杨少延
  • 1篇魏鸿源
  • 1篇王振华

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响(英文)被引量：1
2010年
利用甲醇做氧源,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺在硅(111)衬底上生长了一系列的氧化锌薄膜,生长温度为400～600℃。薄膜的表面形貌及晶体质量分别利用场发射扫描电镜及X射线衍射仪进行了测量。研究表明:随着生长温度的降低,在X射线衍射图谱中氧化锌(101)峰取代了(002)峰成为了主峰。这可能是由于温度过低使得甲醇未完全分解,而甲醇分子抑制了氧化锌沿c轴极性过快的生长所致。室温光致发光光谱结果表明在较高生长温度下获得的样品具有良好的光学性质,发光强度随着温度的降低而降低。
王振华杨安丽刘祥林魏鸿源焦春美朱勤生杨少延王占国
关键词：ZNO甲醇MOCVD生长温度
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