江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金(GZ200905)
- 作品数：3 被引量：17H指数：2
- 相关作者：杨海峰周辉赵恩兰贺海东唐玮更多>>
- 相关机构：中国矿业大学更多>>
- 发文基金：江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 光刻与微纳制造技术的研究现状及展望被引量：12
- 2012年
- 首先介绍了微纳制造的关键工艺技术——光刻技术。回顾了光刻技术的发展历程,介绍了各阶段主流光刻技术的基本原理和特点。阐述了国内外对光刻技术的研究现状,并讨论了光刻与微纳制造技术面临的挑战及其需要解决的关键性技术问题。然后重点介绍了浸没光刻、极紫外光刻、电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻、纳米压印光刻等技术的概念、发展过程和特点,并对不同光刻技术的优缺点和生产适用条件进行了比较。最后结合国内外生产商、工程师和研究学者的研究成果,对光刻技术的未来发展做出展望。
- 周辉杨海峰
- 关键词：光学技术微光刻技术下一代光刻技术分辨率增强技术
- 双尺度织构的激光光刻工艺被引量：3
- 2013年
- 搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同。实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。
- 贺海东郝敬宾赵恩兰杨海峰唐玮朱华钱济国
- 关键词：双光束干涉双尺度表面织构激光光刻
- 电控摩擦技术的研究进展被引量：2
- 2012年
- 作为一种主动控制摩擦性能技术,电控摩擦技术可解决实际中的电接触摩擦问题和主动控制摩擦副的摩擦与磨损性能。综述电控摩擦技术的研究进展,介绍该领域已形成大量的理论体系,如自生电势、表面转移膜、化学反应膜等,展望电控摩擦技术的发展方向。微型化是机电系统的发展趋势,同时也是电控摩擦技术的研究趋势;在微机电系统或纳米机电系统领域,微电控摩擦技术或纳米电控摩擦技术有很好的应用前景。
- 周龙鹏杨海峰
- 关键词：微机电系统
