国家自然科学基金(11204283)
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
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- 相关机构：中国计量学院浙江中力节能玻璃制造有限公司同济大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术化学工程电子电信更多>>
- Si_(90)Al_(10)N_x薄膜的工艺控制及光学性能研究
- 2013年
- 通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行了测量和分析。结果表明,样品的光学性能可通过调整Ar/N2的流量比、薄膜厚度、退火条件等工艺参数加以控制。
- 陈君周红余森江
- 关键词：磁控溅射折射率消光系数分压比
- SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
- 2014年
- 利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲结构从薄膜边缘产生,并逐渐往样品中心区域扩展;在电话线屈曲的传播过程中,屈曲的各结构参量(包括波长、振幅、宽度等)均发生了明显演化。基于连续弹性理论,对电话线屈曲的结构特征和生长演化进行了分析,并估算了薄膜的内应力和膜基结合能。
- 周红余森江陈君陈苗根
- 关键词：低辐射镀膜玻璃内应力
- 纳米光栅制作技术的最新进展
- 2016年
- 随着信息化社会的高速发展,现代光栅逐渐应用于信息处理及量子光学等领域,所以纳米光栅的制作变得十分重要。作者首先简要介绍了纳米光栅制作的几种传统方法,包括机械刻划、全息光刻、飞秒激光直写等。传统方法均存在成本高、工期长、条件苛刻、制作过程复杂且难以控制等缺点。在此基础上,作者综述了最新发展起来的基于薄膜应力自组装制作纳米光栅的方法,并对该方法的实验原理、物理机制和适用范围进行了深入讨论。
- 李秋琦孙亚东陈旗湘刘旭静余森江
- 关键词：应力自组装PDMS
- 薄膜结合能测量技术的最新进展被引量：1
- 2014年
- 薄膜目前被广泛应用于各种高科技领域中。薄膜的力学性能,尤其是结合能,决定了薄膜器件的力学稳定性、抗疲劳能力及其使用寿命,因而对薄膜结合能的精确测定显得尤为重要。作者简要介绍了薄膜结合能测定的几种传统方法,包括划痕法、压印法、拉伸法、鼓泡法和剥离法。在此基础上,作者综述了最新发展起来的基于薄膜在载荷下发生形变的翘曲法,对该方法的测量原理、力学机制和适用范围进行了深入讨论。
- 冯宇飞陈旗湘马亮王佳荣余森江
- 关键词：结合能翘曲力学性能测量技术
- 硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的原子力显微镜研究
- 2014年
- 利用喷雾装置在清洁载玻片上喷洒出各种尺寸(微米到毫米量级)的硅油滴,采用直流磁控溅射方法在硅油滴上沉积金属铬薄膜,研究了薄膜中由热应力引起的自组装褶皱.实验发现硅油滴上的铬薄膜受到油滴边缘的约束而具有受限的边界条件,其对褶皱的形貌具有很好的调控作用:褶皱呈垂直于边界的辐射状条纹;越靠近约束边界,褶皱的波长和振幅越小.褶皱的形貌特征还与薄膜厚度和硅油滴尺寸密切相关.随着膜厚的增加,褶皱在约束边界处首先形成,并逐渐扩展到油滴中心区域;相同尺寸油滴中心处的褶皱波长基本不变,而振幅随膜厚先增大随后减小.薄膜厚度相同时,随着油滴尺寸的增加,褶皱的波长和振幅都相应增加.进一步的研究表明:在沉积过程中,高能粒子的轰击和溅射源的热辐射导致硅油表面层的结构发生改变而形成聚合物层,在此基础上对褶皱的形貌特征和振幅演化给出合理的解释.
- 余森江
- 关键词：液体基底金属薄膜自组装
- 硅油基底上楔形钴薄膜的褶皱形貌研究被引量：1
- 2012年
- 利用玻璃盖片的遮挡效应,采用直流磁控溅射方法在硅油基底上成功制备出膜厚连续变化的楔形钴薄膜系统,并研究了该薄膜的内应力释放模式。实验表明,沉积过程中系统受热膨胀,随后的冷却过程导致钴薄膜中产生较大的压缩应力,并形成多种特征的褶皱形貌。在楔形薄膜和平整薄膜的过渡区域,发现存在明显的分界线,边界对褶皱的取向具有较强的调控作用(褶皱基本垂直于分界线),并可用薄膜的应力模型进行解释。在楔形薄膜区域,褶皱的波长随距离的增加明显减小,反映出薄膜厚度随距离的变已化很规难律分:在辨距,薄离膜小厚于度50也0μ趋m近时于,薄零膜。厚度均匀递减;当距离大于500μm时,薄膜厚度的衰减趋势变缓;当距离接近于900μm时,褶皱已很难分辫,薄膜厚度也趋近于零。
- 庞梦如余森江
- 关键词：褶皱内应力
