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广东省自然科学基金(04020096)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：邱万奇傅涛陈灵向兴华阎明更多>>
相关机构：华南理工大学更多>>
发文基金：广东省自然科学基金广州市科技攻关项目更多>>
相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 1篇挡板
  • 1篇电弧离子镀
  • 1篇离子镀
  • 1篇TIN薄膜
  • 1篇大颗粒

机构

  • 1篇华南理工大学

作者

  • 1篇向兴华
  • 1篇陈灵
  • 1篇邱万奇
  • 1篇傅涛

传媒

  • 1篇金属热处理

年份

  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
挡板对电弧离子镀TiN薄膜性能的影响被引量：4
2008年
在传统离子镀电弧靶前安装挡板,用镜面抛光Si(100)片作基体,对有/无挡板时沉积的TiN薄膜的大颗粒分布和性能进行了研究。结果表明,在挡板影响区域,大颗粒最大直径由无挡板时16μm降低至2μm,大颗粒密度从2.3×105mm-2降低至1.4×103mm-2;挡板影响区外,大颗粒密度变化不显著。加挡板后TiN薄膜的硬度降低,挡板影响区外降低10%,影响区内降低25%。
邱万奇傅涛向兴华陈灵
关键词：离子镀挡板TIN薄膜大颗粒
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