渭南师范学院科研基金(09YKS004)
- 作品数:2 被引量:5H指数:1
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- 玻璃衬底和Si衬底制备的Zn0.96Nd0.04O薄膜的结构研究
- 2009年
- 通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底和Si(111)村底上制备了Zn0.96Nd0.04O薄膜。XRD分析表明,Zn0.96Nd0.04O薄膜是具有C轴择优生长的纳米多晶薄膜,Nd以替位原子的形式存在于ZnO晶格,Nd掺杂没有改变ZnO晶格结构。从AFM图中看出,薄膜表面形貌较为粗糙,Si衬底薄膜的晶粒具有规律且晶粒尺寸大于玻璃衬底。
- 文军
- 关键词:ND掺杂ZNO薄膜AFM
- 钕、镧掺杂氧化锌薄膜的制备及形貌被引量:5
- 2009年
- 通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了Nd,La掺杂的ZnO薄膜.应用XRD分析了所制备薄膜的微结构,Nd,La掺入了ZnO晶格,没有改变ZnO薄膜的结构,薄膜为沿(100),(101)方向生长的纳米多晶结构.通过AFM观测与分析表明,Nd,La掺杂ZnO薄膜的表面形貌粗糙,呈现拱形.Nd3+离子与La3+离子4f轨道上电子数不同可能是Nd,La掺杂ZnO薄膜生长差异的主要原因.
- 文军
- 关键词:ZNO薄膜镧掺杂XRDAFM