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国家科技重大专项(2009ZX02015)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：张剀戴兴建张小章更多>>
相关机构：北京中科科仪股份有限公司清华大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇振动
  • 1篇轴承
  • 1篇控制器
  • 1篇分子泵
  • 1篇磁轴承

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇北京中科科仪...

作者

  • 1篇张小章
  • 1篇戴兴建
  • 1篇张剀

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁悬浮分子泵的振动抑制被引量：8
2013年
2000L磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振;陀螺效应造成动力学失稳;叶轮叶片导致转子颤振;成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计。控制器中,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制;弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位整形方法。试验验证了方法的有效性,分子泵平稳升速到24000 r/min,样机达到了设计真空性能指标。
张剀戴兴建张小章武涵邹蒙李奇志
关键词：分子泵磁轴承振动控制器
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