您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(61106011)

作品数：1 被引量：10H指数：1
相关作者：左则文更多>>
相关机构：安徽师范大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等厚干涉
  • 1篇膜厚
  • 1篇厚度测量
  • 1篇薄膜厚度

机构

  • 1篇安徽师范大学

作者

  • 1篇左则文

传媒

  • 1篇安徽师范大学...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法被引量：10
2012年
等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易,操作方便,分析直观,在生产中有着广泛的应用.本文探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材料劈尖,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹,通过条纹相关参数的测量,获得薄膜的厚度.通过比较,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确,因而更实用.
左则文
关键词：等厚干涉厚度测量
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0