国家科技重大专项(2008ZX02051-005)
- 作品数：3 被引量：8H指数：2
- 相关作者：谢常青朱效立刘世炳靳飞飞刘明更多>>
- 相关机构：中国科学院微电子研究所北京工业大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 近地空间下X/EUV透射光栅的热力学有限元分析被引量：1
- 2010年
- 为了实现极紫外透射光栅光谱仪在近地空间的应用,针对其核心色散元件2000线/毫米X/EUV透射光栅,本文采用有限元方法建立了机械模型并对其热学性能和耦合特性进行计算机模拟计算,通过模拟热膨胀系数不同的材料构成的薄膜光栅在近地空间受到太阳辐照后的温度场,得到该光栅表面的热形变分布。结果表明,在高真空热环境下,该透射光栅表面形变量平均可达0.56μm,而影响光栅周期的纵向形变平均值则为71.5nm。由于热形变会对光栅衍射效率产生重要影响并导致光谱仪精度和性能的下降,利用有限元分析模拟的结果,进一步优化光栅的封装和设计制作,使其栅线处纵向热形变趋近于零,为2000线/毫米X/EUV透射光栅在太阳极紫外辐射探测器上得到应用提供了科学依据和有效支持。
- 宋曦朱效立韦飞谢常青谢二庆刘明
- 关键词：近地空间透射光栅热形变
- 自聚焦变栅距光栅设计、制作及特性研究被引量：3
- 2009年
- 利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性,设计和制作了变栅距透射光栅,并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光栅扫描电子束光刻的方法制作了中心线数为300l/mm、适用于355nm波长的自聚焦变栅距变狭缝光栅。使用三倍频Nd:YAG激光器,研究了制作的变栅距光栅的聚焦特性,并与对氦氖激光的聚焦特性进行了比较。结果表明,主动式设计的变栅距变狭缝自聚焦光栅可以大幅提高衍射光强度和分辨本领,具有重要的应用价值。
- 靳飞飞刘世炳朱效立谢常青刘明
- 关键词：衍射光学
- 2000lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究被引量：5
- 2010年
- 针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的版图,然后利用电子束光刻和微电镀技术在聚酰亚胺薄膜底衬上制备了X射线透射变栅距光栅。制作出中心线数为2000lp/mmX射线透射变栅距光栅,栅距变化符合设计要求。衍射效率标定的结果表明,制备的变栅距光栅在中心波长处聚焦作用明显,可以大幅提高衍射光强度和光栅的分辨本领,具有重要的应用价值。
- 靳飞飞朱效立李海亮马杰谢常青刘世炳
- 关键词：衍射光学电子束光刻
