上海-AM基金(0211)
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- 制备参数对磁控溅射CoSi_2薄膜织构的影响
- 2005年
- 采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响。结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构。织构的形成受溅射参数的影响。溅射功率越大,溅射气压越低,(111)织构越强烈。当基底温度增加时,织构经历了先增强后减弱的过程。
- 常继姜传海程凡雄吴建生
- 关键词：织构X射线衍射磁控溅射
- 溅射非晶钴硅薄膜的晶化过程及其分析
- 2006年
- 利用射频磁控溅射方法制备了具有CoSi2成分的非晶薄膜,对非晶薄膜的晶化过程进行了原位X射线分析。结果显示,溅射态薄膜为非晶态,而自由能-成分曲线说明非晶态合金有较低自由能。在非晶晶化过程中初生相为CoSi相,其形成由有效形成热(EHF)因素和结构因素决定。随加热温度升高,非晶薄膜晶化最终得到晶体CoSi2薄膜。
- 李伟徐昌学姜传海吴建生
- 关键词：X射线分析
- Zr对非晶Co-Si薄膜晶化和相变的影响
- 2005年
- 利用X射线衍射分析技术结合差示扫描量热仪,研究了Z r在Co-S i合金非晶薄膜晶化和相变过程中的作用。结果表明:溅射态非晶Co-S i薄膜和Co-S i-Z r薄膜在加热到950℃的过程中,均主要析出Co-S i和Co-S i2两种晶化相;Z r的加入增大了晶化激活能,抑制了晶化相的形核和长大,使薄膜能够在更高的温度范围保持稳定,但在高温800℃以上加热时,却使晶化相Co-S i向Co-S i2的转变加快。
- 吴海凤程凡雄董显平吴建生
- 关键词：晶化相变锆
