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中央高校基本科研业务费专项资金(1116021004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：夏国银王越飞江小帆李伟陈坤基更多>>
相关机构：南京大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇SIOX
  • 1篇SIOX薄膜
  • 1篇硅
  • 1篇X

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇马忠元
  • 1篇徐岭
  • 1篇徐骏
  • 1篇冯端
  • 1篇黄信凡
  • 1篇陈坤基
  • 1篇李伟
  • 1篇江小帆
  • 1篇王越飞
  • 1篇夏国银

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiOx(x=1.3)薄膜的优化阻变特性与退火温度的关系探究被引量：1
2014年
采用电子束蒸发技术在Si衬底上制备了亚氧化硅SiOx(x=1.3)薄膜,研究了不同温度热退火处理的SiOx薄膜作为阻变层的ITO/SiOx/Si/Al结构的阻变特性.研究发现,在电极尺寸相同的条件下,随着退火温度的增加,该结构的高低阻态比显著提高,最高可达109.X射线光电子能谱和电子顺磁共振能谱的分析表明,不同退火温度下形成的不同价态的硅悬挂键是低阻态下细丝通道的主要来源.椭偏仪的测试结果表明,经过热退火处理的SiOx薄膜折射率的增大是导致高阻态下器件电阻增大的原因.
任圣马忠元江小帆王越飞夏国银陈坤基黄信凡徐骏徐岭李伟冯端
关键词：SIOX薄膜
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