国家自然科学基金(60471015)
- 作品数：5 被引量：10H指数：2
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- 小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2
- 2009年
- 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
- 廖斌周蓓曹焕丽朱守正
- 关键词：谐振特性气体放电S参数
- 用于微波等离子体激励的微带环缝谐振器的设计
- 本文介绍了一种新型的微带环缝谐振器（MSRR）的设计方法。它具有平面化、小型化的特点,且结构简单。谐振器的电路尺寸为波长的1/2,调整缝隙的宽度和偏转角度使谐振器和馈电端相匹配。这种谐振器主要应用于低压小功率微波等离子体...
- 张少君廖斌
- 关键词：微波等离子体
- 基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2
- 2009年
- 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
- 廖斌张少君赵娜朱守正
- 关键词：阻抗匹配气体放电S参数
- 2.45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究
- 本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2．45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源。研究表明,影响电感品质因数的参数有电感线圈的匝数...
- 曹焕丽廖斌朱守正
- 关键词：品质因数Q微波等离子体
- 文献传递
- 平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析被引量：1
- 2007年
- 介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据。
- 廖斌曹焕丽朱守正
- 关键词：品质因数
- 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真被引量：4
- 2007年
- 该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。
- 廖斌张少君朱守正
- 关键词：品质因数
- ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响被引量：3
- 2007年
- 分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.
- 周蓓廖斌朱守正
- 关键词：数值仿真
- 基于超材料的频率选择表面的研究
- 本文设计了一种矩形双开口谐振环混合排列单元格的频率选择表面模型,该模型对于各个方向的入射电磁波有着同样的频率响应,通过金属层和介质层的变换可改变中心频率和带宽。研究表明,当中心频率为9.65GHz时,带宽为300MHz,...
- 李松坡廖斌
- 关键词：频率选择表面
- 文献传递
