舟山市科技局科技项目(092020)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：池弘福祝贵兵吴剑锋更多>>
- 相关机构：浙江海洋大学浙江国际海运职业技术学院浙江海洋学院更多>>
- 发文基金：舟山市科技局科技项目浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域：交通运输工程更多>>
- CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究被引量：1
- 2012年
- 针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升降温速率、进出炉速率,使硅片翘曲度降低,线宽非均匀性由±4%降低到±2%。
- 祝贵兵池弘福吴剑锋
- 关键词：CCD翘曲度
- 宁波—舟山沿海外航路实施分道通航制的构想被引量：2
- 2010年
- 近年来,舟山海域大型商船与渔业船舶碰撞事故及船沉人亡事故呈逐年上升趋势,给渔民生命和国家财产造成了严重的损失。经过调查,除了存在常见的疏忽或过失外,舟山沿海通航秩序混乱是造成事故的主要原因之一。如何限制大型商船航路范围过大、航线的不确定性,有效隔离商船航路和渔船作业区域,同时最大限度地减少航路交叉,提出了长江口以南宁波—舟山沿海外航路实施分道通航制的设想,供海事主管部门参考。
- 池弘福祝贵兵
