您的位置： 专家智库 > >

公益性行业科研专项(200903023-03)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：赵文锋陈俊芳宋淑然许利霞王海林更多>>
相关机构：华南农业大学华南师范大学更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目公益性行业科研专项更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化硅粉
  • 1篇氮化硅粉体
  • 1篇等离子体
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米粉
  • 1篇纳米粉体
  • 1篇晶相
  • 1篇硅粉
  • 1篇粉体
  • 1篇SI3N4
  • 1篇尘埃等离子体

机构

  • 1篇华南农业大学
  • 1篇华南师范大学

作者

  • 1篇王海林
  • 1篇许利霞
  • 1篇宋淑然
  • 1篇陈俊芳
  • 1篇赵文锋

传媒

  • 1篇沈阳农业大学...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
等离子体制备纳米晶相氮化硅粉体的研究被引量：2
2012年
为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度,通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体,采用SiH4和N2为反应气体,气相沉积Si3N4纳米粉体材料。利用朗缪尔探针技术测得沉积室中离子密度分布,获得气压为53Pa时,不同射频功率和不同位置处离子密度分布规律。通过TEM、IR和XRD技术对Si3N4纳米粉体材料微结构进行了分析。结果表明:尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形,均匀分布在20nm,并且具有β-Si3N4晶相。
赵文锋许利霞宋淑然王海林陈俊芳
关键词：尘埃等离子体SI3N4纳米粉体
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0