江苏省科技厅基金(BK2005128)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：陈云福杨和梅徐秀英更多>>
- 相关机构：南京农业大学更多>>
- 发文基金：江苏省科技厅基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 溅射气压对Al_2O_3薄膜的结构与电性能的影响被引量：2
- 2010年
- 以纯铝为靶材,在不同溅射气压下采用直流磁控反应溅射方法制备了Al2O3薄膜。用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、台阶仪、绝缘电阻仪和精密阻抗分析仪等分析了薄膜的表面形貌、化学成分、结构、薄膜厚度和电学性能。结果表明,随着溅射压力增大,薄膜的颗粒尺寸和厚度减小,组织细密;薄膜的化学成分主要为Al、O元素,铝氧原子比接近2:3,在250℃的低温下,溅射态的Al2O3薄膜均为非晶结构,溅射压力对Al2O3薄膜的结构和化学成分影响不明显;溅射压力为1.0Pa时的薄膜,其电阻和电阻率较大,介电性能相对较好。
- 杨和梅陈云福徐秀英
- 关键词：无机非金属材料AL2O3薄膜溅射气压直流磁控反应溅射介电性能
