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北京市自然科学基金(2062015)

作品数：5 被引量：16H指数：3
相关作者：李彬陈广超吕反修黑立富宋建华更多>>
相关机构：北京科技大学中国科学院研究生院井冈山大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市科技新星计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 5篇理学
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 3篇气相沉积
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 2篇单晶
  • 2篇多层结构
  • 2篇纳米
  • 2篇金刚石
  • 2篇金刚石单晶
  • 2篇刚石
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体制备
  • 1篇生长速率
  • 1篇探测器
  • 1篇内应力
  • 1篇微观结构
  • 1篇离子束
  • 1篇纳米复合结构
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱

机构

  • 7篇北京科技大学
  • 2篇中国科学院研...
  • 1篇井冈山大学

作者

  • 7篇陈广超
  • 6篇李彬
  • 5篇吕反修
  • 5篇李成明
  • 5篇佟玉梅
  • 5篇宋建华
  • 5篇黑立富
  • 4篇唐伟忠
  • 4篇戴风伟
  • 4篇兰昊
  • 2篇李宏
  • 1篇薛前进
  • 1篇李彬
  • 1篇李浩
  • 1篇黄玲
  • 1篇韩晓泉
  • 1篇闫占奇

传媒

  • 5篇人工晶体学报

年份

  • 2篇2012
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 1篇2006
共 5 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
金刚石单晶的化学气相沉积制备及其在粒子探测器件中的应用被引量：7
2012年
自2002年世界上第一颗采用化学气相沉积(CVD)方法制备的大尺寸金刚石单晶被报道之后,碳材料领域在世界范围内再一次掀起了CVD金刚石的研究热潮,单晶CVD金刚石也成为与石墨烯研究热度相当的又一种碳材料。几乎同时,将这种优异的材料在各个可能的相关领域进行应用的研究也随之被广泛地开展起来,这些研究工作逐渐表明:在新世纪单晶CVD金刚石将在能源、太空、信息等领域得到广泛的应用,其对社会生活、国家安全和科技进步将产生巨大的影响。本文在结合我们自己的工作基础上,综述了国内、外在单晶CVD金刚石制备领域的进展及其在粒子探测器件领域的应用。
李彬李宏吕反修陈广超
关键词：化学气相沉积金刚石单晶探测器
直流喷射电弧等离子体制备金刚石单晶的研究被引量：3
2012年
通过利用光发射谱技术,探测了大功率直流喷射电弧等离子体增强化学气相沉积方法中沉积区域的气相激元分布,进而优选了金刚石生长的位置。在沉积过程中,不断使衬底做背向等离子体的运动,实现了大颗粒金刚石的连续生长,颗粒尺寸达到约1 mm3。采用劳厄背反射X射线衍射测试技术和拉曼谱技术,对所制备的样品进行了测试,结果表明:所制备的颗粒为金刚石单晶。对于大尺寸衬底,研究了背向运动速度对沉积晶体的形貌和质量的影响,发现了ATG型不稳定形貌。
李彬闫占奇李浩韩晓泉吕反修陈广超李宏
关键词：等离子体化学气相沉积金刚石单晶
微/纳米多层金刚石自支撑膜的制备及生长特性的研究被引量：5
2007年
在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究。结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面;多层膜中各层膜体的内应力沿生长方向有明显变化,出现一个从压应力到拉应力变化的过程;在沉积过程中,随着层数变化,膜体的生长速率也发生相应的变化。
兰昊陈广超戴风伟李彬唐伟忠李成明宋建华J.Askari黑立富佟玉梅
关键词：多层结构内应力生长速率
大功率DC Arc Plasma Jet CVD制备微／纳米复合金刚石自支撑膜的研究
在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体, 在钼衬底上制备出了复合金刚石自支撑膜,并对其表面和侧面分别进行了扫描电镜 （SEM）、X射线衍射（XRD）、激光拉曼光谱（R...
兰昊陈广超戴风伟李彬唐伟忠李成明宋建华J．Askari黑立富佟玉梅吕反修
文献传递
微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究被引量：2
2008年
在30 kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在多晶钼衬底上制备了微纳米复合多层金刚石自支撑膜。采用拉曼光谱对其进行成份分析、SEM观察膜体表面形貌,采用聚焦离子束(FIB)技术对其进行原位刻蚀,用高分辨电镜观察对其进行微观表征。结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,微/纳米复合多层金刚石自支撑膜中包含有纳米级金刚石晶粒、微米级金刚石晶粒和无定形碳。
薛前进黄玲陈广超李彬唐伟忠李成明宋建华黑立富佟玉梅
关键词：化学气相沉积多层结构微观结构
DC Arc Plasma Jet CVD法沉积纳米金刚石自支撑膜的研究
在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD(直流电弧等离子体喷射化学气相沉积)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,在Mo的衬底上沉积出纳米金刚石自支撑膜。实验表明,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大...
戴风伟陈广超兰昊J．Askari宋建华李成明佟玉梅李彬黑立富唐伟忠吕反修
文献传递
采用DC Arc Plasma JetCVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜被引量：3
2006年
在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DC Arc P lasm a Jet CVD)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数,在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜。实验表明,当微米金刚石膜层沉积结束后,在随后的沉积中,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的。当甲烷浓度达到20%以上时,金刚石膜生长面晶粒呈现菜花状的小晶团,膜体侧面已经没有了粗大的柱状晶,而是呈现出光滑的断口,对该层进行拉曼谱分析显示,位于1145 cm-1附近有一定强度的散射峰出现。这说明所沉积的晶粒全部变为纳米级尺寸。
戴风伟陈广超兰昊J.Askari宋建华李成明佟玉梅李彬黑立富吕反修
关键词：拉曼光谱
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