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国家重点基础研究发展计划(2006CB300405)
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王跃林
金仲和
李昕欣
郑旭东
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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金仲和
供职机构:浙江大学航空航天学院
研究主题:卫星 谐振式光纤陀螺 微小卫星 微机械陀螺 种皮
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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郑旭东
供职机构:浙江大学
研究主题:微机械陀螺 微机械加速度计 加速度测量 调谐 调谐电压
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刘民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
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张霞
供职机构:西安邮电学院电子工程学院
研究主题:噪声 量子噪声 微机械陀螺 共模噪声 噪声性能分析
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王昊
供职机构:浙江大学
研究主题:微小卫星 太阳敏感器 地球敏感器 除尘系统 分馏
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郑阳明
供职机构:浙江大学
研究主题:卫星 种皮 扩展性 光电子学 谐振式光纤陀螺
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吴昌聚
供职机构:浙江大学航空航天学院
研究主题:腐蚀速率 牺牲层腐蚀 牺牲层 星体 扑翼机
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程融
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子产业 半导体器件 焊料 接触面积
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