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株式会社昭和真空

作品数：35 被引量：0H指数：0
相关机构：株式会社大真空学校法人东海大学株式会社V技术更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学交通运输工程轻工技术与工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 35篇中文专利

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇天文地球
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 10篇成膜
  • 7篇基板
  • 5篇等离子体
  • 5篇电极
  • 5篇电流
  • 5篇离子枪
  • 4篇电子部件
  • 4篇真空室
  • 4篇真空装置
  • 4篇离子束
  • 3篇电流密度
  • 3篇电源
  • 3篇阴极
  • 3篇栅网
  • 3篇真空
  • 3篇色度
  • 3篇离子管
  • 3篇绝缘
  • 3篇拱顶
  • 2篇电功

机构

  • 35篇株式会社昭和...
  • 2篇株式会社大真...
  • 1篇株式会社V技...
  • 1篇学校法人东海...

年份

  • 3篇2024
  • 1篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 5篇2010
  • 3篇2009
  • 7篇2007
共 35 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
发光装置的制造方法、发光装置的色度调整方法及发光装置的色度调整装置
本发明的发光装置是具有发出蓝色光的LED元件和发出红色及绿色荧光的荧光体的白色LED发光装置。LED元件被分散有荧光体的封固树脂所封固。其周围被透明树脂所封固，具有炮弹型形状。在透明树脂的表面上形成有透明膜，该透明膜具有...
吉田武史石塚勇史
文献传递
离子源、离子电流密度分布变更方法以及基材处理装置
本发明提供能够容易地变更从离子源照射的离子束的离子电流密度分布、小型且廉价的离子源、离子电流密度分布变更方法以及基材处理装置。离子源(6)具有：放电室(61)，其具有释放离子的开口，并由绝缘体形成；磁铁，其使放电室(61...
中里隼堀泽秀之池田知行
用于离子枪的栅网
盐野忠久
薄膜形成装置及其方法
本发明提供一种薄膜形成装置，提高靶材料的利用率、生产节拍时间、维修性能以及成膜精度。所述薄膜形成装置包括：真空室；保持靶材料的溅射阴极；搭载用于堆积被溅射的靶材料的基板的搭载单元；以及搭载单元的搬运机构；在搬运机构中，按...
藤原隆行永井和芳
文献传递
发光装置的制造方法、发光装置的色度调整方法及发光装置的色度调整装置
本发明的发光装置是具有发出蓝色光的LED元件和发出红色及绿色荧光的荧光体的白色LED发光装置。LED元件被分散有荧光体的封固树脂所封固。其周围被透明树脂所封固，具有炮弹型形状。在透明树脂的表面上形成有透明膜，该透明膜具有...
吉田武史石塚勇史
安装电源装置的真空器件和电源方法
改进排列在真空室内的旋转电极和接触该旋转电极以便向其提供电功率的电源装置间的接触状态。真空设备具有真空室、排列在真空室内并与真空室电绝缘的旋转电极，以及接触旋转电极以便向其提供电功率的电源装置，其中，旋转电极具有环形形状...
泷本昌行小室弘之布施丰阿部辰弥青名端一仁
文献传递
水晶器件的制造方法
本发明为一种水晶器件的制造方法。本发明提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。解决手段为：使用旋转台型溅射装置(10)，以从水晶振动片的表面起依次具有下述层的方式进行成膜，所述层为：具...
竹内公彦矢部裕
离子管
本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对...
长田佑介盐野忠久
离子枪以及用于该离子枪的格栅
提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体...
盐野忠久伊藤诚长田佑介
文献传递
蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴
提供一种能够在确保蒸发的蒸镀材料的指向性的同时保持较高的成膜速率的蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴。蒸镀源单元(1)是一种使蒸镀材料蒸镀到基板的表面上的蒸镀源单元(1)，其具有包括喷出口(21)的喷嘴(20)，所述喷出口...
塩野忠久长田佑介金子滉明若林雅铃木裕二
文献传递
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