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大连理工大学机械工程学院微系统研究中心

作品数:65 被引量:312H指数:9
相关作者:佟建华张五金赵伟石小培张虹霞更多>>
相关机构:武汉科技大学机械自动化学院北京大学信息科学技术学院北京大学信息科学技术学院微电子研究院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

文献类型

  • 46篇期刊文章
  • 19篇会议论文

领域

  • 26篇自动化与计算...
  • 17篇电子电信
  • 15篇机械工程
  • 14篇理学
  • 4篇天文地球
  • 3篇生物学
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇化学工程
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 7篇生物芯片
  • 6篇图像
  • 6篇微流控
  • 6篇微流控芯片
  • 5篇MEMS
  • 4篇偏振
  • 4篇气压传感器
  • 4篇微机电系统
  • 4篇毛细管
  • 4篇毛细管电泳
  • 4篇机电系统
  • 4篇光学
  • 4篇测试系统
  • 4篇电系统
  • 3篇电极
  • 3篇偏振光
  • 3篇热分析

机构

  • 65篇大连理工大学
  • 3篇中国科学院
  • 2篇北京大学
  • 2篇武汉科技大学
  • 2篇香港科技大学
  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇北京长城计量...
  • 1篇吉林大学
  • 1篇辽宁师范大学
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇西北工业大学
  • 1篇浙江大学

作者

  • 22篇刘冲
  • 18篇王立鼎
  • 11篇褚金奎
  • 9篇金仁成
  • 9篇王晓东
  • 8篇唐祯安
  • 6篇闫卫平
  • 6篇杜立群
  • 6篇陈阳
  • 4篇罗怡
  • 4篇郭吉洪
  • 4篇徐征
  • 3篇夏泽邑
  • 3篇黎永前
  • 3篇席文柱
  • 3篇褚德南
  • 2篇佟建华
  • 2篇刘利兵
  • 2篇李新
  • 2篇陈正豪

传媒

  • 6篇传感技术学报
  • 5篇微纳电子技术
  • 4篇仪器仪表学报
  • 4篇光子学报
  • 4篇中国微米/纳...
  • 3篇第八届中国微...
  • 3篇中国微米纳米...
  • 2篇分析化学
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇高等学校化学...
  • 2篇传感器技术
  • 2篇机械工程学报
  • 2篇大连理工大学...
  • 2篇2003第三...
  • 2篇2004第四...
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇Journa...
  • 1篇功能材料
  • 1篇高技术通讯
  • 1篇机电产品开发...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2014
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 3篇2007
  • 11篇2006
  • 9篇2005
  • 14篇2004
  • 15篇2003
65 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真
本文针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的...
陈涛金仁成张凤田王宏斌
关键词:微气压传感器模糊控制模糊PID控制MATLAB仿真测试系统
文献传递
基于偏振光传感器的仿鼠脑导航方法
2023年
面对长距离复杂场景下的自主移动机器人导航问题,仿生鼠脑的RatSLAM相较传统SLAM更加高效。但完全依赖视觉信息,导致其精度不高、可靠性不足。通过引入天空偏振光定向,高效地提供精准的绝对航向角,可以弥补RatSLAM的不足。设计并搭建了一种偏振光仿鼠脑导航系统及导航实验平台,经过室外道路实验验证了系统的性能,并与RatSLAM进行了比较。实验结果表明,偏振光仿鼠脑导航系统和RatSLAM的平均位置误差分别为3.65 m和26.29 m,平均角度误差分别为0.36°和2.39°。该系统减少了累积误差,实现了高效、强鲁棒性、轻量化的自主导航。
褚金奎佟坤李金山张志超
关键词:自主移动机器人
采用脉冲法实现对位移和压力的高精度控制
本文介绍一种在非线性摩擦影响下,用脉冲对位移和压力精确控制的方法.该方法为两级控制,当离目标值较远时,采用传统的PID控制;当接近目标值时,采用矩形脉冲控制,使设备产生微小运动,实现对位移和压力的精确控制.脉冲的形状由理...
姚广军王晓东刘冲
关键词:压力控制
文献传递
基于EKF算法的无线传感器网络定位技术研究被引量:4
2010年
无线传感器网络中,基于RSSI测距技术的定位系统误差较大。对扩展卡尔曼滤波(EKF)算法在抑制测距误差和提高定位精度方面进行了深入的研究。同时根据EKF算法在WSN节点定位中的两种应用方式,以收敛概率和相对误差为指标,在各种拓扑条件下对提高节点定位精度进行了分类探讨。最后结合仿真阐述了EKF算法的适用范围,并分析了影响算法性能的因素。
金仁成赵伟石小培
关键词:无线传感器网络扩展卡尔曼滤波RSSI
一种基于ARM的仿生偏振光测试系统的研究
本文针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-Ⅱ的软件开发进行...
刘利兵金仁成赵开春姚弘轶
关键词:ARM
文献传递
毛细管电泳芯片的电特性研究
2004年
芯片毛细管电泳技术是20世纪末发展起来的一项新兴分析技术.本文研究了毛细管电泳芯片的电特性.在一定的电压范围内,玻璃和有机玻璃芯片的伏安特性都有线性段区域,因此在此线性段内研究芯片的电特性可以将其简化为电阻模型.根据基尔霍夫电流定律建立了毛细管电泳芯片的等效电阻模型,研究了分离电压以及分离焦耳热的影响因素,为毛细管电泳芯片的优化设计提供了理论依据.
罗怡陈阳刘冲王立鼎
关键词:毛细管电泳生物芯片电特性
弯曲微通道电泳分离的数值计算研究
给出了微通道内电动流体输运的数学方程,基于有限体积法编制了电泳分离的数值计算程序,建立了具有不同收缩比的一系列弯曲微通道模型,采用数值计算的方法研究了弯曲通道收缩比对样品速度形态和区带展宽的影响.数值计算结果表明:弯曲通...
陈国强刘冲徐征王立鼎
关键词:电泳分离有限体积法微流控芯片
文献传递
基于硅微加工工艺的微热板传热分析被引量:13
2005年
针对常压和真空两种环境 ,通过三维有限元模拟分析了背面体硅加工型、正面体硅加工型和表面加工型三种微热板 (MHP)的传热主渠道和加热功率 .制作了背面体硅加工型和表面加工型MHP ,并对两者在常压及 13 3Pa气压下的加热功率进行了测试 .实验值与有限元分析结果一致 ,表明虽然真空中表面加工型MHP热功耗小于背面体硅加工型MHP ,但薄层空气导热使表面加工型MHP在大气中的功耗大幅增加 。
余隽唐祯安陈正豪魏广芬王立鼎闫桂贞
关键词:微热板有限元热传导
面向典型微流控芯片的流场测速技术研究被引量:3
2004年
介绍了微流体流动特性测试技术的发展和应用概况,选用激发光源、荧光显微镜和高精度CCD摄像机等建立了显微粒子图像测速装置,用于测量微流控芯片内部电渗流流动特性,并给出显微成像单元、激发光源、示踪粒子的技术指标和适用范围.根据微流控芯片的特征尺寸和内部电渗流速度,分析了应用显微粒子图像测速技术测量微流场速度分布的测量分辨率、测量精度、测速范围等关键问题.研究结果表明:在电场强度100V/cm、宽度50μm的玻璃微通道内,硼砂电渗流速度约为220μm/s,放大倍率低于40倍,MicroPIV动态测速范围能满足流场测速要求;选用直径300nm的荧光粒子,在高于10倍放大倍率下,粒子像大于3个CCD像元的尺寸,可以进行观测;MicroPIV测速系统的测速精度则与光学系统、图像处理技术、电场力、布朗运动等有关系.
刘冲徐征陈阳黎永前王立鼎
关键词:微流控芯片微流体
Ni薄膜热敏电阻的研究被引量:2
2004年
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。
闫卫平席文柱邝永变杜立群
关键词:热敏电阻
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