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上海新昇半导体科技有限公司

作品数：741 被引量：1H指数：1
相关机构：中国科学院中国科学院大学上海新阳半导体材料股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 734篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 1篇标准

领域

  • 52篇电子电信
  • 45篇文化科学
  • 43篇自动化与计算...
  • 25篇金属学及工艺
  • 21篇理学
  • 9篇电气工程
  • 7篇水利工程
  • 7篇一般工业技术
  • 6篇医药卫生
  • 5篇经济管理
  • 4篇化学工程
  • 3篇机械工程
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇环境科学与工...
  • 1篇天文地球
  • 1篇建筑科学

主题

  • 156篇晶圆
  • 94篇半导体
  • 92篇晶体
  • 74篇抛光
  • 73篇单晶
  • 67篇硅片
  • 58篇坩埚
  • 57篇晶体生长
  • 56篇衬底
  • 48篇外延层
  • 42篇晶体管
  • 39篇晶片
  • 39篇硅晶
  • 33篇场效应
  • 32篇导流筒
  • 31篇单晶硅
  • 30篇退火
  • 30篇平坦度
  • 25篇炉体
  • 23篇热屏

机构

  • 741篇上海新昇半导...
  • 62篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...
  • 2篇北京莱伯泰科...
  • 2篇上海新阳半导...
  • 1篇有色金属技术...
  • 1篇上海亿钶气体...
  • 1篇上海晶盟硅材...
  • 1篇新疆大全新能...
  • 1篇宜昌南玻硅材...
  • 1篇唐山三孚电子...
  • 1篇昊华气体有限...
  • 1篇沁阳国顺硅源...
  • 1篇武汉新硅科技...
  • 1篇江西晨光新材...
  • 1篇陕西有色天宏...
  • 1篇新疆新特新能...

作者

  • 12篇魏星
  • 8篇薛忠营
  • 1篇汪子文

传媒

  • 2篇固体电子学研...
  • 2篇微纳电子与智...
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇电子乐园

年份

  • 30篇2024
  • 62篇2023
  • 74篇2022
  • 116篇2021
  • 120篇2020
  • 104篇2019
  • 138篇2018
  • 88篇2017
  • 9篇2016
共 741 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于晶圆的目视检测机及检测方法
本发明提供了一种用于晶圆的目视检测机及检测方法。所述目视检测机包括：载台，用于支撑待测晶圆；机械手臂，设置于所述载台的两侧，用于抓取所述待测晶圆；其中，所述机械手臂绕第一轴向、第二轴向和第三轴向转动设置，所述第一轴向和所...
孙瑞何昆哲赵厚莹
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研磨台清洗装置及其清洗方法
本发明提供了一种研磨台清洗装置及其清洗方法，用于清洗研磨台上的碱性研磨液，所述研磨台用于研磨晶元，所述研磨台包括卡盘和铺设在所述卡盘上的抛光布，所述研磨台清洗装置包括：第一清洗箱，用于储存去离子水；第二清洗箱，用于储存酸...
刘源汪燕
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SOI衬底及其制备方法
本发明提供一种SOI衬底及其制备方法，包括：提供第一衬底，所述第一衬底上形成有第一介质层；对所述第一衬底进行重氢离子注入，预定深度的所述第一衬底中形成重氢掺杂层；提供第二衬底，所述第二衬底上形成有第二介质层，将所述第一介...
肖德元张汝京
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化学品供应装置
本实用新型提出了一种化学品供应装置，包括：多个化学管路，混合槽，不同的化学物品在混合槽中混合，形成清洗液；混合支路，设有泵和加热装置的混合支路，将清洗液输入至清洗机的化学槽中的清洗液输入管路，设有清洗装置的清洗液循环支路...
徐晨鸽徐暎昊
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单晶硅锭及晶圆的形成方法
本发明提供了一种单晶硅锭及晶圆的形成方法，采用区熔法形成单晶硅锭时，对熔融区中的硅通入含有氘元素的气体，使氘元素存储在单晶硅锭的间隙中，降低碳元素及其他杂质的含量；采用单晶硅锭形成晶圆后，在晶圆上形成器件时，氘元素能够扩...
肖德元
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拉晶方法和拉晶装置
本发明公开了一种拉晶方法和拉晶装置。所述方法包括：在拉晶过程中，保持用以容纳硅熔体的坩埚旋转的同时对坩埚内的硅熔体施加水平方向的磁场，其中，当改变所述磁场的磁场强度时和/或当改变所述磁场的磁场强度后，容易引起硅晶棒晶棒和...
沈伟民雷友述
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一种拉晶系统和拉晶方法
本发明提供了一种拉晶系统和拉晶方法。所述系统包括：拉晶腔室，所述拉晶腔室包括存储硅熔体的坩埚；和水平磁场施加装置，所述水平磁场施加装置包括围绕所述拉晶腔室外侧设置的多个环形线圈，所述多个环形线圈的功率分别独立控制，以使所...
三重野文健
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抛光垫修整器、抛光设备及方法
本发明提供一种抛光垫修整器、抛光设备及方法。抛光垫修整器包括驱动装置、安装基板、钻石修整头、毛刷、弹性连接件及控制器，所述安装基板包括第一表面，所述钻石修整头设置于所述安装基板的第一表面，所述毛刷通过所述弹性连接件设置于...
沙酋鹤
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外延片制备方法
本发明提供一种外延片制备方法，包括步骤：S1：提供衬底，对衬底进行双面抛光后再清洗；S2：对衬底进行边缘抛光后再清洗；S3：对衬底进行最终抛光后再清洗；S4：于最终抛光清洗后得到的衬底表面进行外延生长；S5：对外延生长后...
林志鑫季文明刘丽英刘源
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一种直拉法引晶方法
本发明提供一种直拉法引晶方法，包括步骤：提供一硅熔体和一籽晶，所述硅熔体的液面处于第一液面位置；将所述籽晶浸入所述硅熔体中，并将所述籽晶向上提拉并旋转以从所述硅熔体的液面上引出细晶；在所述引出细晶的过程中，当所述细晶的长...
邓先亮
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