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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

作品数：435 被引量：0H指数：0
相关机构：佛山市中山大学研究院中山大学佛山科学技术学院更多>>
相关领域：文化科学化学工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 431篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 32篇文化科学
  • 27篇化学工程
  • 23篇电子电信
  • 21篇自动化与计算...
  • 13篇电气工程
  • 10篇经济管理
  • 8篇金属学及工艺
  • 6篇机械工程
  • 6篇建筑科学
  • 6篇交通运输工程
  • 6篇一般工业技术
  • 3篇天文地球
  • 3篇环境科学与工...
  • 3篇医药卫生
  • 2篇石油与天然气...
  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇理学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇文学
  • 1篇艺术

主题

  • 80篇镀膜
  • 79篇硅片
  • 50篇石墨
  • 50篇组件
  • 44篇镀膜设备
  • 26篇扩散炉
  • 24篇电池
  • 23篇腔体
  • 20篇电极
  • 20篇热丝
  • 20篇炉体
  • 18篇反应炉
  • 17篇石英管
  • 13篇真空镀膜
  • 13篇进气
  • 13篇化学气相
  • 13篇反应管
  • 12篇化学气相沉积
  • 11篇多晶
  • 11篇装卸

机构

  • 435篇深圳市捷佳伟...
  • 6篇佛山市中山大...
  • 2篇中山大学
  • 1篇佛山科学技术...
  • 1篇中国机械工程...
  • 1篇广东德力光电...
  • 1篇常州捷佳创精...
  • 1篇深圳市瑞丰光...

传媒

  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇中国科技成果

年份

  • 72篇2024
  • 65篇2023
  • 56篇2022
  • 49篇2021
  • 33篇2020
  • 34篇2019
  • 27篇2018
  • 13篇2017
  • 31篇2016
  • 15篇2015
  • 15篇2014
  • 18篇2013
  • 7篇2012
共 435 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
上料装置以及真空镀膜设备
本实用新型公开了一种上料装置以及真空镀膜设备，其中上料装置包括：顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，支撑件连接于推杆，用于承载靶材，推杆由耐高温高强度的材料制成，支撑件为耐高温绝缘结构，驱...
余仲葛光星王应斌张凡
一种自动上下料设备
本实用新型公开了一种自动上下料设备，包括：花篮上料中转装置、花篮上料装置、第一转存装置、硅片上料装置、花篮下料中转装置、花篮流转装置、第二转存装置、硅片下料装置和花篮下料装置。硅片在输送过程中依次通过花篮上料装置(输送装...
周宏业胡艳东罗宁
压力控制系统与反应炉
本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉，压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀，反应室具有第一开口；冷却装置与第一开口连通，用于对从第一开口流出的气体进行冷却，冷却装置具有供冷却后的气体流出...
张勇罗伟斌欧阳泉罗之华
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推舟升降装置及镀膜设备
本实用新型公开了一种推舟升降装置及镀膜设备，推舟升降装置包括基座、推舟机构、升降组件及驱动机构，升降组件沿基座的长度方向间隔分布，导套与传动体均安装于安装主体，导杆滑动连接于导套的内部，传动体与丝杆螺纹连接，驱动机构与丝...
张勇李学文刘兵吉肖训
一种低压扩散炉炉口隔热结构
本实用新型公开了一种低压扩散炉炉口隔热结构，包括石英管和密封圈，所述密封圈套设于所述石英管的管口的端部外壁上，还包括管状的隔热层，所述管状的隔热层设置于所述石英管的管口的端部内且所述管状的隔热层的中轴线与所述石英管的中轴...
李致文张勇
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附着板、附着板组件以及真空镀膜装置
本实用新型公开了一种附着板、附着板组件以及真空镀膜装置，附着板，包括：附着板本体；以及支撑件，与附着板本体连接，支撑件设有第一挂孔、以及与第一挂孔沿横向间隔设置的第二挂孔，第一挂孔具有沿横向间隔排布的第一侧壁以及第二侧壁...
张勇肖荣锋王应斌满小花谢进学葛光星张凡
一种用于扩散炉的多管排废系统
本实用新型公开了一种用于扩散炉的多管排废系统，包括主排废管、废液收集管和与废液收集管连通的废液收集瓶，还包括若干根排废小管，所述若干根排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管连通，每根所述排废小管上设置与该排废小...
文鸥张勇
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硅片限位结构以及硅片载具
本实用新型公开了一种硅片限位结构以及硅片载具，硅片限位结构，包括：承载部；安装部，安装部设置于承载部上，且安装部限定出用于供硅片放入的安装区，安装部上设置有围绕安装区间隔设置的多个限位部；其中，安装部包括用于构成安装区的...
余仲左忠祥庞才伟
推舟装置以及推舟系统
本实用新型公开了推舟装置以及推舟系统，其中推舟装置，用于将载片舟推入炉管设备的多个炉管内或者从所述炉管内推出，包括：第一机架；第一搬送部，安装到所述第一机架，可沿Z轴方向驱动；至少一个第二搬送部，安装到所述第一搬送部并被...
张勇李锐罗伟斌肖岳南
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一种带冷却系统的高温扩散炉
本实用新型公开了一种带冷却系统的高温扩散炉，其包括卧式的炉体（1）、固定炉体的外箱（6），所述炉体包含由内而外依次叠置的加热层（2）、耐火层（3）、保温层（4）；还包括电连接加热层并对其实施控制的控制电路，所述保温层内盘...
杨宝立郭峰成肖四哲
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