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郑州合晶硅材料有限公司

作品数：79 被引量：0H指数：0
相关机构：上海晶盟硅材料有限公司更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术农业科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 79篇中文专利

领域

  • 18篇电子电信
  • 9篇金属学及工艺
  • 7篇自动化与计算...
  • 3篇农业科学
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇文化科学
  • 2篇经济管理
  • 2篇电气工程
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇天文地球
  • 1篇化学工程
  • 1篇冶金工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇水利工程
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 27篇硅片
  • 17篇晶圆
  • 13篇半导体
  • 12篇抛光
  • 6篇平坦度
  • 6篇晶片
  • 6篇刮伤
  • 5篇体硅
  • 5篇半导体硅
  • 5篇半导体硅片
  • 4篇单晶
  • 4篇单晶硅
  • 4篇底座
  • 4篇蚀刻
  • 4篇硅晶
  • 4篇硅晶圆
  • 4篇撑杆
  • 3篇氧化膜
  • 3篇真空泵
  • 3篇支撑杆

机构

  • 79篇郑州合晶硅材...
  • 1篇上海晶盟硅材...

年份

  • 21篇2024
  • 23篇2023
  • 23篇2022
  • 6篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2018
共 79 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种晶圆承载台
本实用新型公开了一种晶圆承载台，包括支撑台体，以及位于所述支撑台体表面两侧的第一支撑槽、以及位于表面中心的第二支撑槽；两侧的所述第一支撑槽和所述第二支撑槽相对位置上设有水平阵列排布的多个V型插槽单元，相对设置的位于两侧和...
吴泓明钟佑生陈志刚詹闵翔唐少辉耿帆
一种硅片载盘及改善重掺双抛光片损伤层的制备工艺
本申请属于集成电路中的硅片（晶圆）制造技术领域，具体涉及一种硅片载盘及利用该载盘改善重掺双抛光片损伤层的制备工艺。该硅片载盘相较于现有载盘结构，在现有圆形卡槽的中心增加了圆形凹槽的设计，具体载盘结构包括：作为整个结构承重...
吴泓明钟佑生洪育维李少华
文献传递
一种用于清洗机的取片手臂
本实用新型公开了一种用于清洗机的取片手臂，包括叉片、以及位于所述叉片上的第一支撑台、第二支撑台、第三支撑台和第四支撑台，所述叉片的叉头端用于与取片机台连接，所述叉片上设有4个用于安装四个支撑台的安装槽，所述安装槽的槽底部...
吴泓明钟佑生陈志刚周军磊李常存
一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法
本发明公开了一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法，包括以下步骤：S1.取测试样品，模拟硅晶圆生产热处理工艺参数进行热处理，使样品表面生长氧化层，选取监测点对样品不同位置氧化层膜厚进行监测，同时对样品是否发生应力缺陷进...
吴泓明钟佑生黄郁璿孙楠冯晨萁
一种堆垛机导向装置
本实用新型公开了一种堆垛机导向装置，包括导轮座、以及对称设置于所述导轮座两端的两组导轮组件和两组加强组件；所述导轮座呈L型，包括竖板和横板；每组所述加强组件均包括立式肋板和水平加强板，所述水平加强板位于所述横板的端部上表...
吴泓明钟佑生陈志刚周军磊李常存
一种硅片加工用卸片装置
本实用新型公开了一种硅片加工用卸片装置，包括卸片机构、硅片放置平台、空桥以及用于支撑上述部件的支撑机构；所述空桥设于所述硅片放置平台的一侧；所述空桥设有高度调节装置；所述卸片机构包括卸片刀和推块；所述卸片机构还包括与所述...
吴泓明钟佑生陈志刚周军磊李常存韩佩谚
一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置
本实用新型公开了一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，包括储气环、与所述储气环连通的氩气管道；所述储气环的两端分别与石英镜片和长晶机主炉室密封连接。本申请提供的气体保护装置，能保护热场测温仪石英镜片的洁净度，改善了热...
吴泓明钟佑生陈志刚王俊仁万军召
一种硅片抛光过程中用于抛布的清洁装置
本实用新型公开了一种硅片抛光过程中用于抛布的清洁装置，包括固定组件和刷头组件；所述固定组件包括固定座和支撑板，所述固定座用于和抛光机台连接；所述支撑板的一端与所述固定座连接且连接位置可调节，另外一端开设有第一轴孔；所述刷...
吴泓明钟佑生陈志刚周军磊李常存时安德
一种改善有多晶硅背封的单晶硅片翘曲度的方法
本发明公开了一种改善有多晶硅背封的单晶硅片翘曲度的方法，包括以下步骤：S1.对倒角、研磨、蚀刻、双面抛光后的单晶硅片进行边缘抛光；S2.在所述单晶硅片的背面以及倒角边缘区进行多晶硅背封；所述多晶硅背封采用化学气相沉积法，...
吴泓明 张田田 钟佑生 王文博 李云鹏 喻阳平 张丽
一种改善抛头与衬垫贴合精度的装置
本实用新型公开了一种改善抛头与衬垫贴合精度的装置，包括定位基座和定位环；所述定位基座为三层阶梯状，从上至下阶梯的直径逐渐增大；所述定位环能够扣合至所述定位基座的底层阶梯上；定位环的环内侧形状、尺寸与衬垫的固定环外侧相适配...
吴泓明钟佑生黄郁璿李少华景中正
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