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沈阳拓荆科技有限公司

作品数：446 被引量：20H指数：2
相关机构：清华大学沈阳城市学院沈阳职业技术学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项辽宁省教育厅高等学校科学研究项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术经济管理文化科学电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 420篇专利
  • 17篇期刊文章

领域

  • 11篇自动化与计算...
  • 9篇文化科学
  • 7篇经济管理
  • 7篇电子电信
  • 6篇化学工程
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 2篇电气工程
  • 2篇医药卫生
  • 2篇文学
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 181篇半导体
  • 114篇晶圆
  • 109篇导体
  • 109篇半导体薄膜
  • 45篇喷淋
  • 45篇腔体
  • 42篇陶瓷
  • 40篇气体
  • 33篇半导体设备
  • 32篇镀膜
  • 30篇镀膜设备
  • 30篇工装
  • 24篇抽气
  • 23篇机械手
  • 19篇等离子体
  • 18篇射频
  • 18篇管路
  • 17篇喷淋装置
  • 15篇媒介
  • 12篇均匀性

机构

  • 437篇沈阳拓荆科技...
  • 3篇清华大学
  • 2篇沈阳职业技术...
  • 1篇沈阳城市学院

作者

  • 3篇孟军红
  • 2篇王振斌
  • 1篇夏焕雄
  • 1篇牟鹏
  • 1篇向东

传媒

  • 3篇中文科技期刊...
  • 2篇科技信息
  • 2篇中国新技术新...
  • 1篇中国电子商务
  • 1篇黑龙江科技信...
  • 1篇经济技术协作...
  • 1篇科技成果纵横
  • 1篇中国设备工程
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇科技风
  • 1篇现代商贸工业
  • 1篇科技创新导报

年份

  • 24篇2020
  • 29篇2019
  • 32篇2018
  • 127篇2017
  • 47篇2016
  • 96篇2015
  • 30篇2014
  • 30篇2013
  • 19篇2012
  • 3篇2011
共 446 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
加热盘水平测量工装结构及测量方法
加热盘水平测量工装结构及测量方法，主要解决现有测量方法复杂，不易操作的问题。其工装结构，包括：定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓及数显千分表。所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的...
续震范川张亚新
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一种低温沉积氮化硅薄膜的方法
低温沉积氮化硅薄膜的方法，是一种能够在较低温度下制备氮化硅薄膜的方法。采用本方法制备的薄膜主要应用于OLED封装技术。本发明由射频系统提供稳定的射频，下电极通过热偶精确控制一个较低的温度，在基板上通过等离子体技术沉积出氮...
于棚刘忆军杜媛婷常晓娜吴围刘婧婧商庆燕
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半导体设备的上盖板胶圈检漏装置
半导体设备的上盖板胶圈检漏装置，包括管接头，喷头上板，陶瓷环，压板和底板。管接头固定在喷头上板上端的中心处并连接检漏仪。陶瓷环设置在喷头上板和压板之间。底板设置在压板的下面。待检胶圈放置在底板的凹槽内。本实用新型适用于任...
马壮朱佳奇
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一种喷淋头及其等离子体处理装置
本发明提供一种喷淋头，其用于半导体等离子体处理装置，所述半导体等离子体处理装置包括反应腔及设置于所述反应腔中的载物台，所述载物台用以承载衬底，所述喷淋头相对于所述载物台设置于所述反应腔中，用以将反应气体沿着所述衬底的方向...
刘忆军戚艳丽柴智王卓
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一种晶圆承托结构
一种晶圆承托结构，解决了现有晶圆承托结构不可调节的问题。该结构包括热盘、陶瓷套、陶瓷柱及调整扳手。所述陶瓷柱制有外螺纹，陶瓷套制有内螺纹，陶瓷套与陶瓷柱螺纹连接。上述热盘加工有圆形沉孔，将陶瓷套放入沉孔，再将陶瓷柱用调整...
柴智刘忆军
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具有可调射频组件的晶圆支撑座
本发明提供一种晶圆支撑座，包含：一盘体，具有用于承载晶圆的一承载面及位于该承载面下方的一第一下电极和第二下电极，该第一下电极和该第二下电极彼此结构独立且该第下一电极位于该第二下电极上方。
周仁王卓
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一种半导体沉积设备腔体对接方法
一种半导体沉积设备腔体对接方法，主要解决现有半导体薄膜沉积设备中存在的对接难度大，精度调整不方便，影响设备产能及产品良率的问题。该方法是通过将对接装置放置在设备主体框架上，并通过固定结构将其固定在主体框架上作为整个对接装...
陈英男姜崴郑旭东关帅
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原子层沉积设备
本发明涉及原子层沉积设备。一种原子层沉积设备包括：反应室(110)；上盖板(120)，其可密封地接合于反应室的顶部，并设置有开口，工艺气体经由开口进入反应室的内部腔室；安置于反应室的一侧且与之连通的加载闭锁室(130)；...
王祥慧
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一种倒置式推举电缸装置
本发明涉及一种倒置式推举电缸装置，应用于半导体薄膜沉积设备的开腔结构辅助装置，通过增加一定的空行程提高腔盖关闭时触发信号的稳定性。属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。包括电缸安装在电缸杆上，电缸杆为中空结构，内设有推杆...
陈英男梁立元姜崴郑旭东关帅李景舒霍阳阳
立柱式陶瓷环定位用销
立柱式陶瓷环定位用销，主要解决陶瓷环因没有固定，容易出现偏移而导致晶圆也出现偏移的问题。本发明是通过在圆周上均匀分布的三个或多个定位销，来实现对陶瓷环的定位。具体结构：陶瓷环镶嵌在铝制加热盘的外缘，它与加热盘的接触面是平...
吴凤丽廉杰国建花朱超群
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