黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室
- 作品数：67 被引量：154H指数：7
- 相关作者：刘鑫孟庆旭李点美丁玉洁杨志更多>>
- 相关机构：哈尔滨工程大学理学院哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院北京理工大学材料学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省教育厅科学技术研究项目教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
- 酞菁铅薄膜气体传感器的研制及其特性研究
- 采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PdPc薄膜气体传感器进行了敏感特性研究.
- 邱成军左霞孙艳美孔姗姗
- 关键词：气体传感器
- 文献传递
- 硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究被引量：2
- 2006年
- 采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点。
- 张辉军穆长生王璐
- 关键词：PN结射频磁控溅射氧传感器金红石相
- MEMS结构氧传感器的研究被引量：6
- 2005年
- 采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气体传感器相比,此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点。
- 邱成军刘鑫曲伟张辉军
- 关键词：MEMS氧传感器磁控溅射
- 基于MEMS技术研制RF硅基微电感线圈被引量：1
- 2010年
- 在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。设计了硅基电感的版图尺寸和相关的工艺流程,用IntelliSuite软件模拟验证了工艺流程的可能性,再利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电流与磁感应强度的关系、衬底涡流分布等,为平面电感的理论与实验的进一步比较分析提供了参考依据。在研制过程中发现影响电感性能好坏的主要因素是衬底涡流效应,为此提出了在矩形硅杯膜上制作电感的方法,为了进一步减薄金属电感线圈衬底的厚度,在硅杯膜背面采用激光打孔得到了膜厚约为5μm的衬底,从而可以使衬底中的涡流大幅度减少、电感的Q值得到很大提高。此外,提出的新制造方法采用了绝缘性能比SiO2好的Al2O3薄膜作为电感线圈与衬底之间的绝缘层。结果表明,设计的平面螺旋电感具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用前景。
- 温殿忠潘择群杨子江张海燕冯昌浩
- 关键词：MEMS内引线激光打孔
- 磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量：11
- 2005年
- 利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银有利于TiO2薄膜对有机物的降解作用。
- 邱成军曹茂盛张辉军刘红梅田风军刘鑫
- 关键词：锐钛矿相射频磁控溅射光催化活性
- 溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征被引量：11
- 2006年
- 采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验证明：在650℃热处理2h，获得较完整钙钛矿型PZT，粒径约为50～100nm。
- 刘红梅张德庆林海波张亮刘海涛邱成军曹茂盛
- 关键词：溶胶-凝胶乙二醇锆钛酸铅纳米粉体
- MEMS结构NO2传感器的研究
- 本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作原理、结构设计和工艺流程.给出了酞菁锌薄膜的制备方法.通过分析测试了该传感器的特性,并...
- 刘鑫邱成军左霞孔珊珊任华
- 关键词：MEMS技术气体传感器二氧化氮
- 文献传递
- 异向介质材料的非线性研究进展被引量：2
- 2008年
- 异向介质材料是由人工设计构造的、具有特异电磁特性的材料。其中同时具有负的介电常数ε及磁导率μ的称为左手材料或双负材料;仅有负的介电常数ε或负的磁导率μ的称为单负材料。本文介绍了实现异向介质材料及其非线性特性的方法,重点综述了异向介质材料中SH产生、光孤子传输、波混频效应等方面的研究进展。
- 武立华王政平张振辉张祥丽杨维
- 关键词：异向介质左手材料负介电常数负磁导率非线性光学
- 定向井轨迹的磁控测量系统被引量：7
- 2004年
- 为了实现油田钻井过程中井轨迹定向的测量 ,利用磁感应强度随井管材料介质变化的特点 ,开发了定向井轨迹的磁控测量系统。该系统具有体积小 ,功耗低 ,可靠性强等优点 ,实现了在井下 85℃环境中对预测点自动照相及数据采集功能。
- 邱成军卜丹
- 关键词：磁控单片机
- 基于PECVD制备多晶硅薄膜研究被引量：5
- 2006年
- 基于PECVD以高纯S iH4为气源研究制备多晶硅薄膜,在衬底温度550℃、射频(13.56MHz)电源功率为20W直接沉积获得多晶硅薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)对多个样品薄膜的结晶情况及形貌进行分析,薄膜结晶粒取向均为<111>、<220>、<311>晶向。对550℃沉积态薄膜在900℃、1100℃时进行高温退火处理,硅衍射峰明显加强。结果表明,退火温度越高,退火时间越长,得到多晶硅薄膜表面晶粒趋于平坦,择优取向为<111>晶向,晶粒也相对增大。
- 赵晓锋温殿忠
- 关键词：PECVD多晶硅薄膜晶粒退火
