您的位置： 专家智库 > >

贵州大学等离子体与材料表面作用研究所

作品数：16 被引量：15H指数：3
相关作者：秦尤敏宁建平张利纯更多>>
相关机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院四川大学物理科学与技术学院辐射物理及技术教育部重点实验室四川大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：贵州省优秀青年科技人才计划国际热核聚变实验堆计划更多>>
相关领域：理学电子电信核科学技术金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 6篇理学
  • 5篇电子电信
  • 4篇核科学技术
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 16篇动力学
  • 16篇分子
  • 16篇分子动力学
  • 14篇动力学模拟
  • 13篇分子动力学模...
  • 8篇SIC
  • 7篇刻蚀
  • 5篇入射能
  • 5篇入射能量
  • 4篇溅射
  • 3篇原子
  • 3篇AR
  • 2篇动力学方法
  • 2篇相互作用
  • 2篇聚变
  • 2篇聚变堆
  • 2篇轰击
  • 2篇分子动力学方...
  • 1篇等离子体
  • 1篇低能

机构

  • 16篇贵州大学
  • 12篇四川大学
  • 5篇安特卫普大学
  • 4篇中国核工业集...
  • 3篇教育部

作者

  • 11篇赵成利
  • 9篇宁建平
  • 9篇秦尤敏
  • 9篇苟富均
  • 9篇吕晓丹
  • 7篇贺平逆
  • 5篇张浚源
  • 5篇孙伟中
  • 4篇苟富君
  • 4篇刘华敏
  • 4篇潘宇东
  • 2篇陈峰
  • 1篇张利纯

传媒

  • 5篇真空科学与技...
  • 4篇核聚变与等离...
  • 3篇物理学报
  • 1篇材料导报
  • 1篇材料导报（纳...
  • 1篇2010全国...

年份

  • 8篇2011
  • 7篇2010
  • 1篇2009
共 16 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟被引量：1
2011年
使用分子动力学方法模拟了低能H原子与碳氢薄膜的作用过程,以了解基于核聚变装置中等离子体与C基材料的相互作用机制。模拟中使用REBO(reactive empirical bond order)势函数来描述C-H体系中原子间的相互作用,并使用Berendsen热浴来控制体系的温度。文中着重探讨了入射能量对低能H原子刻蚀碳氢薄膜的影响,入射能量分别为0.3,1,5和10eV。模拟结果显示随着入射能量的增加,H原子的吸附率增加,C原子和H原子的刻蚀率增加。同一能量下H原子比C原子更易发生刻蚀。通过讨论发现在H原子与碳氢薄膜作用过程中,当能量大于1 eV时,由于入射的H原子先沉积在表面并与表面原子发生反应形成碳氢化合物,然后在后续入射粒子的轰击下碳氢化合物在表面发生解吸附现象,从而导致了C原子的刻蚀,因此C原子的刻蚀发生主要是化学增强的物理溅射。
吕晓丹秦尤敏赵成利宁建平贺平逆苟富均
关键词：分子动力学刻蚀
Ar＋与氟化的Si样品相互作用机制的研究：分子动力学模拟被引量：4
2010年
采用分子动力学方法模拟了Ar+与表面含有C,F反应层的Si样品的相互作用过程,以了解Ar+与氟化的Si的作用机制。为了和相对应的实验结果做比较,选择了两种样品,表面富F样品和表面富C样品。模拟结果表明,对于表面富F样品,能清楚地看到Si的刻蚀且随着入射能量的增加Si的刻蚀增加。当入射Ar+数量到达一定程度后Si的刻蚀完全停止。对于富C样品,几乎没有发生Si的刻蚀,这是由于Si-C键对Si的刻蚀起阻碍作用。
秦尤敏吕晓丹宁建平A．Bogaerts苟富君
关键词：分子动力学刻蚀
入射能量对H2^＋与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟被引量：1
2011年
用分子动力学方法研究了入射能量对H2+与SiC样品表面相互作用的影响。模拟结果表明,在H2+轰击SiC样品表面的初始阶段,样品中H原子的滞留量增加较快,其后,增加的速率减慢,并逐渐趋于饱和。入射能量越大,样品中H原子的滞留量也就越大。样品在H2+的轰击下,样品Si、C原子会发生刻蚀。入射能量越大,Si和C原子的刻蚀量越大。在相同入射能量下,Si原子的刻蚀量大于C原子。生成的产物中,以H,H2和SiH4为主;产物H2的量随着能量的增加而减小。其他产物随着入射能量的增加而增加。
孙伟中赵成利刘华敏张浚源吕晓丹潘宇东苟富均
关键词：分子动力学入射能量刻蚀
分子动力学模拟样品温度对F刻蚀SiC的影响被引量：7
2010年
利用分子动力学模拟方法研究了在低能F原子刻蚀SiC表面过程中样品温度对刻蚀的影响。由模拟结果可知,随着温度的升高,F在样品表面的沉积量和散射量均呈下降趋势,而发生溅射的F的量和与样品作用生成挥发物质的F的量逐渐增加。Si的刻蚀量均随着温度的升高而升高。样品中Si原子的刻蚀主要是通过生成SiF4得以实现的,C原子的刻蚀主要是通过生成CFx(x=1～3)等挥发性物质实现的。
宁建平秦尤敏吕晓丹A．Bogaerts苟富君
关键词：分子动力学刻蚀SIC
C^+轰击铍的分子动力学模拟被引量：3
2011年
使用分子动力学模拟方法研究了入射能量对C+离子与Be样品表面相互作用的影响。模拟结果表明,随着C+离子的入射能量增大,C+离子注入深度也增加,Be原子的溅射产额近似线性增加,而滞留在样品中的C原子数量变化不大,在C+离子轰击Be样品的初始阶段,样品中Be原子的溅射产额较大,而随着C+离子注入剂量的增加,Be原子的溅射产额逐渐减小并趋于稳定。在此作用过程中,在样品表面形成一个富C层,减缓了样品中Be原子的溅射速率,起到了保护Be样品的作用。
孙伟中赵成利张浚源陈峰潘宇东苟富均
关键词：分子动力学入射能量溅射
入射角度对Ar+与SiC表面相互作用影响的分子动力学模拟
本文采用分子动力学模拟方法研究了入射角度对Ar与SiC样品表面相互作用的影响。由模拟结果可知,入射角度对样品原子溅射影响很大。随着入射角度的增加,Si和C原子的溅射量先增加后减小。而且相同入射角度下,Si原子溅射阈值比C...
孙伟中赵成利刘华敏张浚源林黎蔚陈旭吕晓丹苟富均
关键词：分子动力学SIC溅射
文献传递
样品温度对CF_3^+与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟
2010年
利用分子动力学模拟方法研究了不同温度下CFx层对CF3+刻蚀Si表面过程的影响.由模拟数据可知,温度对C和F的沉积有显著的影响;通过提高样品的温度,物理刻蚀得到了加强,而化学刻蚀被减弱.同时,随着温度的升高,Si的刻蚀率相应增加.刻蚀产物中的SiF,SiF2的量随温度的增加而增加,SiF3的量与基体温度没有直接的关系.Si刻蚀率的增加主要是通过提高SiF,SiF2从表面脱离的量得以实现的.通过比较发现CF3+在Si表面的沉积对后续的刻蚀过程产生了巨大的影响,具体表现为大大增加了Si的刻蚀率,减弱了Si的化学刻蚀机理。
宁建平吕晓丹赵成利秦尤敏贺平逆A.Bogaerts苟富君
关键词：分子动力学等离子体刻蚀
分子动力学模拟不同入射能量的SiF_2与SiC的相互作用
2011年
采用分子动力学模拟方法研究了入射能量对SiF2与SiC样品表面相互作用的影响。本次模拟选择的入射初始能量分别为0.3,1,5,10和25 eV。模拟结果显示SiF2分解率与Si和F原子的沉积率有密切的关系。沉积的Si和F原子在SiC表面形成一层SixFy薄膜。随入射能量的增加,薄膜厚度先增加后减小,薄膜中Si-Si键密度增大。构成薄膜的主要成分SiFx（x=1-4）中主要是SiF和SiF2,随入射能量的增加,薄膜成分由SiF2向SiF转变。
赵成利秦尤敏吕晓丹宁建平贺平逆苟富均
关键词：分子动力学分解率
低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟被引量：1
2011年
使用分子动力学模拟方法研究了不同能量(0.3—10eV)的Cl原子对表面温度为300K的Si(100)表面的刻蚀过程.模拟中采用了Tersoff-Brenner势能函数来描述Cl-Si体系的相互作用.模拟结果显示,随着入射Cl原子在表面的吸附达到饱和,Si表面形成一层富Cl反应层.这和实验结果是一致的.反应层厚度随入射能量增加而增加.反应层中主要化合物类型为SiCl,且主要分布于反应层底部.模拟结果发现随初始入射能量的增加,Si的刻蚀率增大.在入射能量为0.3,1和5eV时,主要的Si刻蚀产物为SiCl4.在入射能量为10eV时,主要的Si刻蚀产物为SiClx(x<4).分析表明随着入射能量的增加,Cl对Si的刻蚀从化学刻蚀向物理刻蚀转变.
贺平逆宁建平秦尤敏赵成利苟富均
关键词：分子动力学分子动力学模拟微电子机械系统
分子动力学方法的模拟参数对结果的影响
2009年
主要研究了利用分子动力学方法(MD)模拟等离子体与材料表面相互作用过程时分子动力学方法的参数对模拟结果的影响。详细分析了Berendsen热浴的应用时间、耦合强度和模拟时间量(单个轨迹的作用时间、弛豫时间)对模拟结果的影响,结果表明,热浴的应用时间对模拟结果的影响很大,而其它参数对模拟结果没有太大的影响。
秦尤敏吕晓丹宁建平张利纯赵成利贺平逆BogaertsA苟富君
关键词：分子动力学弛豫刻蚀
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0