吴子若
- 作品数：7 被引量：12H指数：2
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 动力学晶格蒙特卡洛方法模拟Cu薄膜生长被引量：6
- 2010年
- 利用动力学晶格蒙特卡洛方法模拟了Cu薄膜在Cu(100)面上的三维生长过程。模型中考虑了四个动力学过程:原子沉积、增原子迁移、双原子迁移和台阶边缘原子迁移,各动力学过程发生的概率由多体势函数确定。讨论了基底温度、沉积速率及原子覆盖率对Cu原子迁移、成核和表面岛生长等微观生长机制的影响;获得了Cu薄膜的表面形貌图并计算了表面粗糙度。模拟结果表明,随基底温度升高或沉积速率下降,岛的平均尺寸增大,数目减少,形状更加规则。低温时,Cu薄膜表现为分形的离散生长,高温时,Cu原子迁移能力增强形成密集的岛。Cu薄膜表面粗糙度随着基底温度的升高而迅速减小;当基底温度低于某一临界温度时,表面粗糙度随原子覆盖率或沉积速率的增大而增大;当基底温度超过临界温度时,表面粗糙度随原子覆盖率或沉积速率的变化很小,基本趋于稳定。
- 吴子若程鑫彬王占山
- 关键词：薄膜生长沉积速率基底温度表面粗糙度
- 基于多层膜光栅的AFM探针结构表征研究被引量：6
- 2020年
- 原子力显微镜是微纳米测量领域主要测量工具之一。由于原子力显微镜探针不可能无限尖锐,使得测量图像包含了一部分探针信息,这是其图像失真的一大影响因素。通过获取探针形状和尺寸,可以有效去除测量图像的"探针效应"从而提升准确度。文中以研制良好样品内一致性的探针校准器为目标,应用Si/SiO2多层膜光栅技术,初步研制了20 nm标称值的线宽结构用于原子力显微镜探针校准。表征结果显示,RFESP型(Rectangular Front Etched Silicon Probe)探针稳定扫描时探针前角由15°增加至36°左右,探针后角由25°增加至45°左右,呈现钝化趋势。由此表明,基于Si/SiO2多层膜光栅技术研制的线宽型探针表征器可以快速表征出探针侧壁角度信息,是原子力显微镜探针扫描过程中探针形貌快速监测和估计的有效手段,对于促进探针表征与图像准确度提升均具有重要意义。
- 吴子若蔡燕妮王星睿张龙飞邓晓程鑫彬李同保
- 关键词：原子力显微镜
- 具有屏蔽伽马辐射效果的X光针孔阵列相机及其装配方法
- 本发明涉及一种具有屏蔽伽马辐射效果的X光针孔阵列相机，每两个平面反射镜相对排布，并顶靠在同一块重金属块材上，构成一个反射镜对；将多个镜对分别置于针孔阵列成像后的光路中，重金属块材用于吸收直穿伽马辐射以保护像面记录设备，平...
- 伊圣振王占山何宁吴子若张哲
- 文献传递
- 基于自然界常数的原子力显微镜探针表征技术研究
- 自然界常数是宇宙中的准确量值,对自然界常数的物化,复现和量值传递过程可以有效提升测量与控制的准确性。2019年,国际单位制的7个基本单位全部改为由常数定义,是对自然界常数作为量值传递源头的充分认可与发展。在纳米尺度的几何...
- 吴子若
- 关键词：原子力显微镜
- 具有屏蔽伽马辐射效果的X光针孔阵列相机及其装配方法
- 本发明涉及一种具有屏蔽伽马辐射效果的X光针孔阵列相机，每两个平面反射镜相对排布，并顶靠在同一块重金属块材上，构成一个反射镜对；将多个镜对分别置于针孔阵列成像后的光路中，重金属块材用于吸收直穿伽马辐射以保护像面记录设备，平...
- 伊圣振王占山何宁吴子若张哲
- 文献传递
- 一种八通道Kirkpatrick‑Baez显微镜的精密装配方法
- 本发明涉及一种八通道Kirkpatrick‑Baez显微镜的精密装配方法，每两块反向对称排列的反射镜构成一个镜对，各镜对分别设计成具有特定的镜面间距和镜面夹角，使得各通道最佳视场的位置重合并且像点间隔符合分幅相机微带的间...
- 王占山张哲吴子若伊圣振
- 文献传递
- 一种八通道Kirkpatrick-Baez显微镜的精密装配方法
- 本发明涉及一种八通道Kirkpatrick‑Baez显微镜的精密装配方法，每两块反向对称排列的反射镜构成一个镜对，各镜对分别设计成具有特定的镜面间距和镜面夹角，使得各通道最佳视场的位置重合并且像点间隔符合分幅相机微带的间...
- 王占山张哲吴子若伊圣振
- 文献传递
