尚海霞
- 作品数：13 被引量：35H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金教育部“优秀青年教师资助计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 先进云纹测量技术及应用被引量：5
- 2006年
- 本文着重介绍了高灵敏度云纹法的发展及其在结构和材料力学行为测量方面的应用,包括云纹干涉法、微米云纹法、纳米云纹法及其相移技术。介绍了清华大学工程力学系光测实验室近年来利用云纹干涉法在材料科学、激光焊接、微电子封装等力学行为测量方面的应用成果。讨论了微米/纳米云纹法分别在微电子封装、微机械系统(MEMS)、纳观变形场测量中的应用。
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- 关键词：云纹干涉法相移技术
- 微电子机械系统(MEMS)面内位移的扫描离子束云纹法实验研究
- 2003年
- 本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量.实验结果表明了该方法的可行性.
- 谢惠民戴福隆尚海霞李标
- 关键词：微电子机械系统面内变形
- 电镜云纹法及其在微纳米力学中的应用
- 电镜云纹法是测量微纳米尺度内材料和结构力学行为的有效实验手段。本文着重发展了电镜云纹法在微米、纳米力学领域中的应用。
在提高电镜云纹法的测量精度方面，本文发展了相移技术在电镜云纹法中的应用，将相移技术和扫描电子...
- 尚海霞
- 关键词：相移技术MEMS碳纳米管
- TEM纳米云纹法测量纳米碳管变形
- 2003年
- 提出了透射电子显微镜(TEM)纳米云纹法的新技术,首次将该方法用于单根单壁碳纳米管的残余变形测量。纳米云纹由计算机显示器扫描线与碳纳米管束TEM图像干涉而成。该方法具有纳米级空间分辨率,可直接测量碳纳米管的力学性能。对TEM纳米云纹法的原理进行了详细的阐述,并利用不同管径的单壁碳管束产生了云纹。对直径为7.5nm的弯曲碳管束的残余变形进行测量,直接得到了其中一根直径为1.0nm的单壁碳管的残余变形场。实验结果证明了该方法的可行性。该方法为纳米尺度的碳管力学性能测量提供了新途径。
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- 关键词：透射电子显微镜
- 扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法及相移技术研究被引量：3
- 2002年
- 本文提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法的测量面内位移的原理.测量中,扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,物质原子晶格栅结构作为试件栅,由这两组栅线干涉形成云纹进行纳米级变形测量.同时,利用PZT控制载物台使试件沿栅线的垂直方向移动,来实现从0到2π的四步相移.文中对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理和测量方法以及相移技术进行了详尽的讨论.并运用该方法对高纯定向裂解石墨(HOPG)的纳米级变形虚应变进行了测量研究.
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- 关键词：扫描隧道显微镜相移
- 多功能三维位移激光干涉测量系统
- 一种多功能三位移激光干涉测量系统，属于光测力学、工程材料、构件变形和位移测试技术领域。本发明由激光器，图像采集摄像系统，分光耦合器，三维干涉光路系统和六维调节载荷架五部分组成。该测量系统可实现u、v、w三个位移场的高精度...
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- 文献传递
- 单壁碳纳米管力学行为的数字散斑相关法实验研究被引量：10
- 2004年
- 通过直接单向拉伸超长单壁碳纳米管束长绳,首次借助高精度数字散斑相关法,并结合显维放大技术,测量了单壁碳纳米管的弹性模量和拉伸强度。试验中观察了单壁碳纳米管束长绳的断裂过程。单壁碳纳米管束长绳通过改进的化学气相沉积技术生成。试验得到单壁碳纳米管的平均杨氏模量为129.0±70.3GPa,平均拉伸强度为1.95±0.56GPa,低于计算值和先前其它文献的试验值。
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- 关键词：单壁碳纳米管弹性模量
- 定向结晶材料高温蠕变规律研究被引量：6
- 2002年
- 利用高温云纹干涉法对航空发动机叶片定向结晶材料的高温蠕变进行了测试，获得该材料不同主方向的高温蠕变性质和规律．实验结果表明定向结晶材料在结晶方向和各向同性平面的蠕变性质有很大差异．
- 戴福隆尚海霞林国松王国韬蒋小林董本涵
- 关键词：定向结晶材料高温蠕变航空发动机叶片
- 扫描隧道显微镜纳米云纹法的实验研究被引量：7
- 2003年
- 提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法测量面内位移的原理。测量中,把扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,把物质原子晶格栅结构作为试件栅,对这两组栅线干涉形成的云纹进行了纳米级变形测量。对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理及测量方法进行了详尽的讨论,并运用该方法对高定向裂解石墨(HOPG)的纳米级变形虚应变进行了测量研究,得到了随扫描范围变化的虚应变场,并与理论值进行了比较。
- 谢惠民刘战伟尚海霞郭海明方岱宁戴福隆高鸿钧
- 关键词：扫描隧道显微镜
- SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用被引量：2
- 2002年
- 本文提出一种扫描电镜 ( SEM)扫描云纹法的相移新技术 ,通过 SEM系统控制电镜电子束扫描线移动 ,对获取的云纹图像实现 0～ 2π范围内的四步相移 ,从而获得了更高的位移测量灵敏度 .同时对 SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述 .并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中 .实验结果证明了该方法的可行性 。
- 戴福隆尚海霞谢惠民
- 关键词：相移技术MEMS微电子机械系统
