张众
- 作品数：140 被引量：143H指数：8
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术被引量：14
- 2010年
- 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。
- 马彬沈正祥张众贺鹏飞季一勤刘华松刘丹丹王占山
- 关键词：亚表面损伤层光散射化学腐蚀刻蚀速率
- 一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法
- 本发明涉及一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，该方法包括以下步骤：步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径；步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之...
- 黄秋实王占山黄瀚丹蒋励张众
- 一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法
- 本发明涉及一种玻璃镜片的无微裂纹热阻丝切割加工方法，涉及裂纹扩展机理、裂纹扩展控制方法和裂纹扩展加工工艺等技术领域。由传统的玻璃切割方法加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹，当玻璃镜片在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球...
- 王昆孔令明王占山张众
- 文献传递
- 一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法
- 本发明涉及一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法，针对轮胎镜面的特点，采用干涉法检测轮胎镜面的小曲率半径和大曲率半径，包括：小曲率半径检测步骤，通过光学轮廓仪获取轮胎镜的实测表面形貌，提取沿小曲率半径方向的轮廓数...
- 沈正祥张众黄秋实
- 文献传递
- 一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构
- 本发明涉及一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构，包括周期分布的多层膜堆，多层膜堆中心位置与每个光栅周期的中心位置重合，多层膜堆占宽比从顶部到底部单调增大，所述占宽比指多层膜堆任意高度位置上的横向宽度与光栅周期的比值，周...
- 黄秋实王占山蒋励张众
- 文献传递
- X射线望远镜超薄玻璃镜片的电阻丝热应力无损切割加工
- 传统的玻璃切割方法（如金刚石切割和激光切割等）加工而成的玻璃断面存在细小微裂纹,当在特殊的大加速度环境中（如玻璃镜片由地球送往太空）,细小微裂纹在巨大压力作用下迅速延展扩大,导致玻璃镜片完全破碎。因此超薄光学玻璃镜片的无...
- 王昆吴意王占山张众
- 文献传递
- 磁控溅射方法制备碳膜稳定性的研究
- 内应力与附着性是影响C膜稳定性的重要因素。本文分析了磁控溅射方法制备C膜中内应力产生的主要原因，研究了应力大小与沉积时工艺条件--气压、靶距之间的关系，提出了控制C膜中内应力的方法，并通过添加Ti中间层增强了C膜的附着性...
- 刘丽琴王占山朱京涛张众王风丽徐迭张慧晶白亮徐垚
- 关键词：磁控溅射内应力附着性
- 文献传递
- 基于非周期多层膜的X射线成像研究被引量：11
- 2006年
- 本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
- 顾春时王占山穆宝忠王风丽张众秦树基陈玲燕
- 关键词：空间分辨率
- Mo/Si多层膜表面保护层设计
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜反射率
- 文献传递
- 基于多层膜偏振元件的软X射线磁光Faraday偏转测量
- 2008年
- 在北京同步辐射装置(BSRF)的3W1B软X射线光束线上利用自行研制的同步辐射软X射线综合偏振测量装置对Ni的M2,3边附近(60—70eV)进行了软X射线磁光(magneto-optical)法拉第效应(Faraday effect)的偏转测量,实验装置主要由起偏器,检偏器,样品架,圆形钕铁硼永磁铁和MCP探测器组成,偏振元件(起偏元件和检偏元件)均采用反射式非周期性Mo/Si宽带多层膜.实验采用反射起偏和反射检偏的模式,得到一系列能量范围在60—70eV间的法拉第偏转角结果,结果表明在Ni的M2,3边附近法拉第效应最为明显,当能量为65.5eV和68eV时,Faraday偏转角分别为1.79°±0.19°(1.79°为正反向磁场偏转角大小的平均值)和-0.76°±0.09°(0.76°为正反向磁场偏转角大小的平均值).
- 鄢芬崔明启陈凯孙立娟席识博周克瑾郑雷赵屹东王占山朱京涛张众赵佳
- 关键词：软X射线
