彭忠琦
- 作品数：104 被引量：231H指数：9
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金中国科学院知识创新工程领域前沿项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 一种EUV反射镜清洗装置
- 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射...
- 彭忠琦卢启鹏龚学鹏王依宋源
- 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统
- 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统，属于半导体技术领域，为了降低次镜的热变形，并提高EUV的传输效率，碎屑阻挡罩内部具有冷却液循环运动的通道，碎屑阻挡罩沿碎屑偏转器的轴向安装在碎屑偏转器靠近光源点的位置；碎...
- 龚学鹏卢启鹏彭忠琦王依周烽谢耀
- 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置
- 本发明涉及一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，包括污染气体储存罐、外加热层、温度控制器、气体压力传感器、流量计、污染气体发射管和发射管运动装置等，外加热层设置在污染气体储存罐的外壁，与温度控制器连接的气体压力传感...
- 宋源卢启鹏龚学鹏王依彭忠琦徐彬豪赵晨行
- 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
- 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜...
- 卢启鹏宋源彭忠琦龚学鹏王依
- 文献传递
- 双驱动补偿压弯的椭圆镜有限元分析
- 2022年
- 为满足同步辐射光束线对相关光学元件的技术需求,设计了双驱动四点滚柱压弯机构。通过有限元仿真分析实现高精度大尺寸光学镜面的非等力矩椭圆柱面压弯。以外形尺寸为1200 mm×70 mm×50 mm的反射镜为研究对象,基于物距26.5 m、像距13 m及掠入射角2.8 mrad,根据理论椭圆面形方程与梁变形弯矩方程计算出施加在压弯镜两端的不等力矩。利用有限元软件对双驱动四点压弯机构进行仿真分析,在重力补偿力矩存在情况下,分别对聚焦镜进行单点补偿、双点补偿、三点补偿以及四点补偿的有限元分析,得到与理论计算相对应的仿真补偿面形结果。模拟施加两端的不等力矩将面形误差从单点补偿时的0.81μrad降低到四点补偿下的0.075μrad,对应理论面形误差0.013μrad,最大程度可以降低原误差的95.96%,证实四点式双驱动机构通过多点补偿可以对椭圆压弯面形误差产生有效减小的趋势,且减小趋势不断平缓。证明该机构在多点补偿下对大尺寸椭圆镜压弯精度的提高具有可行性和有效性,对同步辐射光束线压弯技术有重要的理论指导作用与意义。
- 马天宇卢启鹏王大壮彭忠琦龚学鹏宋源
- 关键词：有限元分析面形误差
- 一种人参多种成分快速分析装置
- 本实用新型涉及一种人参成分快速分析装置。各部件之间的相互连接关系为：光源(1)在准直光照射模块(2)前面；准直照射模块(2)处于光源(1)和分立波长滤光盘(3)之间，滤光片盘(3)由步进电机(4)带动，样品池(5)安放在...
- 卢启鹏彭忠琦
- 文献传递
- 可调式变径光导纤维端面制备装置
- 本实用新型属于光导纤维加工制备技术领域,涉及一种对光纤维端面加工制备装置的改进。包括光导纤维、压板、滑动座、螺钉、海绵、螺杆、切刀、活动块、固定块、支承板,由螺纹传动机构使光导纤维产生断裂,省时、省工则成本降低、体积小、...
- 彭忠琦
- 文献传递
- 振动控制装置及其控制方法
- 一种振动控制装置，包括：振动信号处理装置、单轴柔性铰链；单轴柔性铰链的上平面分别放置反振动装置、第一振动检测装置和第二振动检测装置；第一振动检测装置和第二振动检测装置分别与振动信号处理装置通过数据线连接，分别用于检测单轴...
- 龚学鹏白洋卢启鹏宋源王大壮彭忠琦毛琪俊马天宇
- 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗被引量：3
- 2017年
- 针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法,分析对比了各清洗技术在清洗速率和效果等方面的优缺点。分析表明:离子体氧和活化氧清洗速率相差不多,可达到2nm/min,但清洗过程中容易造成表面氧化;等离子体氢和原子氢的清洗速率相对较慢,一般在0.37nm/min左右,但清洗过程中不易产生氧化。最后针对不同方法应用于在线清洗EUV多层膜反射镜过程中将遇到的问题和难点进行了讨论。
- 宋源卢启鹏龚学鹏王依彭忠琦
- 关键词：清洗技术
- 一种基于自适应滤波的近红外土壤光谱去噪方法
- 一种基于自适应滤波的近红外土壤光谱去噪方法，涉及基于自适应滤波的光谱预处理领域，目的在于解决现有技术中去噪失真、计算复杂、运算速度慢的问题，可以有效地抑制直接采集的近红外土壤光谱中的噪声。应用近红外光谱仪采集任意时刻t<...
- 卢启鹏陈丛彭忠琦
- 文献传递
