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房华

作品数:3 被引量:5H指数:2
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇引导式
  • 1篇浅结
  • 1篇人机
  • 1篇人机交互
  • 1篇人机交互界面
  • 1篇自对准
  • 1篇化物
  • 1篇基于知识
  • 1篇交互界面
  • 1篇固相
  • 1篇固相反应
  • 1篇固相外延
  • 1篇固相外延生长
  • 1篇硅化物
  • 1篇N+
  • 1篇N^+
  • 1篇SI
  • 1篇TI
  • 1篇CAD
  • 1篇CO

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇房华
  • 2篇李炳宗
  • 1篇吴卫军
  • 1篇杨玲
  • 1篇黄维宁
  • 1篇茹国平
  • 1篇邵凯
  • 1篇屈新萍
  • 1篇张悦秋
  • 1篇刘平
  • 1篇周祖尧
  • 1篇顾志光
  • 1篇朱剑豪
  • 1篇姜国宝
  • 1篇童家榕

传媒

  • 2篇Journa...
  • 1篇计算机辅助设...

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1997
  • 1篇1996
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
基于知识的引导式图形人机交互界面的设计被引量:2
1997年
近年来,在CAD领域中,一个软件成功与否,很大程度上取决于人机接口设计的好坏,以及它是否方便用户进行设计工作。在探讨了人机界面模型和交互技术的发展之后,基于知识推理和面向对象的概念,在事件栈的结构之上,提出了一种引导式图形界面交互模型SRT,并由此给出了一种新的交互技术。文中给出了SRT的模型介绍。基于SRT模型,我们开发了ICSDE系统中IC-CAD软件文档设计的支持系统SDDT。它集一个精简的专家系统和一个图形文档编辑器SDGT以及一个字符文档设计编辑器SDDT为一体,辅助用户进行IC-CAD软件文档的设计。
杨玲房华张悦秋童家榕
关键词:产生式规则交互界面CAD
固相外延CoSi_2薄膜作为扩散源形成n^+p浅结技术研究被引量:3
1996年
通过As+离子注入到由TiN/Co/Ti/Si多层结构因相反应得到的外延CoSi2层中,利用外延硅化物作为扩散源(ESADS),形成了0.1μm的浅n+p结.研究了Cosi2外延薄膜离子注入非晶化后的再结晶特性、注入杂质退火时的再分布特性和形成的n+p浅结特性.实验结果表明:外延CoSi2层在非晶化后能有效地再结晶;As原子在多晶CoSi2/Si结构和单晶CoSi2/Si结构中有着不同的再分布特性;同相应的以多晶CoSi2作为扩散源形成的结相比,以外延CoSi2作为扩散源形成的结反向漏电小1~2个数量级,并表现出优良的击穿特性.
房华李炳宗吴卫军邵凯姜国宝顾志光黄维宁刘平周祖尧朱剑豪
关键词:固相外延生长
用于自对准提升硅化物结构的Co/Si/Ti/Si及Co/Si/…Ti/Si多层薄膜固相反应研究
2000年
为了减小硅化物形成过程中消耗的衬底硅,提出添加非晶Si的新方法,并探索了Co/Si/Ti/Si及Co/Si(×7)/Ti/Si多层薄膜固相反应的两种途径.实验采用四探针、XRD、RBS等多种方法对固相反应过程进行了研究,对反应形成的CoSi2 薄膜进行了测试分析,并探索了在SiO2/Si及图形片上的选择腐蚀工艺.结果表明,当选择合适的Co∶Si原子比,恰当的两步退火方式及选择腐蚀溶液,两种方法都可以形成自对准硅化物结构.研究了这两种固相反应过程,发现在一定的Co∶Si原子比范围内,这两种方法制备的CoSi2 薄膜都有一定的外延特性,其中第一种途径得到的CoSi2
屈新萍茹国平刘建海房华徐鸿涛李炳宗
关键词:固相反应硅化物
共1页<1>
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