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施颖

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：广东工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇激光
  • 4篇光刻
  • 3篇投影光刻
  • 2篇识别方法
  • 2篇投影光刻系统
  • 2篇紫外激光
  • 2篇物象
  • 2篇模式识别
  • 2篇模式识别方法
  • 2篇激光器
  • 2篇光刻系统
  • 2篇硅片
  • 2篇分子激光器
  • 1篇视场
  • 1篇投影式
  • 1篇激光光刻
  • 1篇激光投影
  • 1篇焦深
  • 1篇光刻机
  • 1篇光学

机构

  • 4篇广东工业大学

作者

  • 4篇施颖
  • 3篇雷亮
  • 3篇林清华
  • 3篇周金运
  • 2篇陈丽
  • 2篇王新星
  • 1篇裴文彦
  • 1篇李文静

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种大面积投影光刻系统及其对准方法
本发明是一种大面积投影光刻系统及其对准方法。本发明大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准分子激光器通过照明系统进行光路调制与光束...
雷亮周金运林清华陈丽施颖王新星
文献传递
大视场直接投影式激光光刻光学系统及其应用
本发明是一种大视场直接投影式激光光刻光学系统。包括激光照明系统及激光投影成像系统，激光照明系统包括依次装设的第一柱面镜、第二柱面镜、会聚球面透镜、匀光棒、第一照明透镜、第二照明透镜、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照明透...
周金运李文静雷亮林清华裴文彦施颖
文献传递
激光投影光刻机光学对位技术研究
光学对位技术是光刻技术最重要的技术之一，其对位精度和速度一定程度上决定了产品的质量和生产率，因此研究和探索高精度的光学对位方法尤为重要。　　 基于本课题组现有的激光投影光刻机进行了光刻实验，并且达到了预想成果：经过显影...
施颖
一种大面积投影光刻系统及其对准方法
本发明是一种大面积投影光刻系统及其对准方法。本发明大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准分子激光器通过照明系统进行光路调制与光束...
雷亮周金运林清华陈丽施颖王新星
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