李庆祥
- 作品数：210 被引量：1,363H指数：14
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 非线性阈值自调整小波图像去噪方法研究被引量：21
- 2006年
- 为解决小波变换阙值去噪方法中阙值的合理选取，提出一种基于非线性阙值自调整小波变换的图像去噪方法。在传统小波阈值去噪方法的基础上，结合神经网络的非线性双曲线正切函数和BP训练方法，首先对含噪图像进行二进小波分解，然后对分解系数进行小波重建，并将重建系数在BP神经网络中采用最速梯度下降法进行优化处理，得到最优阈值，最后对阈值处理的重建系数进行叠加，得到原始图像信号的估计值，即去噪后的图像信号。仿真实验表明，该方法具有较好的重建图像视觉效果，信噪比（SNR）和峰值信噪比（PSNR）均比传统小波阈值方法提高了1～2dB。
- 段瑞玲李玉和李庆祥贾惠波
- 关键词：小波变换BP神经网络去噪
- 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕...
- 廖小华葛杨翔李玉和李庆祥
- 关键词：划痕轻敲模式外差干涉原子力显微镜
- 文献传递
- 整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构
- 本发明属于微纳米技术领域，波及一种整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构。本发明包括微驱动器、柔性铰链、定位结构、调整旋钮；所说的微驱动器包括两个有平面度要求的光滑顶面和底面，该微驱动器嵌置在该柔性铰链中，该微驱动器...
- 李庆祥李玉和白立芬于水
- 文献传递
- 一种多模式原子力探针扫描系统
- 一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样...
- 李玉和王东生李庆祥葛杨翔
- 文献传递
- 原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究被引量：3
- 1997年
- 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。
- 薛实福徐毓娴李庆祥王晓晔刘永生于水
- 关键词：微机械加工显微镜力传感器
- 虚拟仪器在测试技术中的应用
- 介绍了虚拟仪器和美国国家仪器公司的 LabView开发平台，及其在现代测试技术中的应用。并使用虚拟仪器技术对汽国情平稳性数据进行了笔现、存储和分析。该曲型开发和应用实例表明虚拟仪器具有开发效率高、调整方便快捷、信号分析处...
- 龙志峰白立芬徐毓娴李庆祥
- 关键词：信号采集信号处理虚拟仪器
- 用于SPM技术的多维纳米定位系统
- 2006年
- 扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分。介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨。
- 郑静琳李玉和廖小华李庆祥
- 关键词：直接驱动
- 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
- 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
- 徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
- 文献传递
- 一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手
- 本发明涉及一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手，属于微机电系统技术领域，包括微致动器、柔性放大机构、尺寸预调机构和微夹持手；柔性放大机构固定在安装板上，尺寸预调机构固定在柔性放大机构的上部，微夹持手置于尺寸预调机构的上...
- 李庆祥李玉和白立芬李勇
- 文献传递
- 十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验被引量：1
- 2000年
- 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。
- 于水白立芬李庆祥王云庆
- 关键词：弹性支承
