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李杨

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：南开大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 2篇硅薄膜
  • 1篇电池
  • 1篇对等计算
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇普适计算
  • 1篇网格
  • 1篇网格计算
  • 1篇网络
  • 1篇网络计算
  • 1篇微晶硅
  • 1篇微晶硅薄膜
  • 1篇利用率
  • 1篇计算环境
  • 1篇计算机
  • 1篇硅太阳能电池
  • 1篇硅烷
  • 1篇硅烷法

机构

  • 3篇南开大学

作者

  • 3篇李杨
  • 2篇张晓丹
  • 2篇魏长春
  • 2篇赵颖
  • 2篇许盛之
  • 1篇熊绍珍
  • 1篇任慧志
  • 1篇辛运帏
  • 1篇温小艳
  • 1篇赵庚申

传媒

  • 1篇天津科技
  • 1篇中国科学：物...
  • 1篇第十一届中国...

年份

  • 2篇2010
  • 1篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
普适计算:人本计算被引量：2
2006年
辛运帏温小艳李杨
关键词：普适计算网络计算计算环境对等计算网格计算计算机
利用四极杆质谱监测硅薄膜沉积过程中的硅烷利用率
为提高硅薄膜沉积过程中的硅烷利用率，我们利用四极杆质谱对高压高功率法沉积硅薄膜过程中硅烷分压进行了监测。研究了硅烷分解率与硅烷浓度、辉光功率以及反应气压关系。结果表明：硅烷浓度增加时硅烷的分解率下降;适当的增加功率可提高...
许盛之张晓丹李杨任慧志魏长春熊绍珍赵庚申赵颖
关键词：硅薄膜硅太阳能电池
文献传递
利用后通硅烷法优化高速微晶硅薄膜的纵向结构
2010年
本文采用四极杆质谱对高速沉积硅薄膜过程中硅烷浓度的变化情况进行了在线监测,针对反应过程中的反向扩散现象进行了研究.结合硅烷耗尽模型的计算,对反应气体的馈入方法进行了优化.结果表明,适当的调整硅烷气体与等离子体起始放电时刻的时间差,可以有效的控制反应过程中硅烷浓度,特别是放电开始瞬间时的条件,从而改善器件的界面特性以及薄膜厚度方向上的纵向结构均匀性.
许盛之张晓丹李杨魏长春赵颖
关键词：微晶硅薄膜
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